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三一硅能(株洲)有限公司宋鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉三一硅能(株洲)有限公司申请的专利一种板式PECVD分气板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223074251U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422038633.3,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种板式PECVD分气板是由宋鹏;石鹏飞;闫宁宁设计研发完成,并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种板式PECVD分气板在说明书摘要公布了:本申请提供了一种板式PECVD分气板,用于光伏技术领域,具体为一种板式PECVD分气板,包括分气板本体;进气口,设置在分气板本体上表面;出气孔,均匀分布在分气板本体的下表面;每个出气孔与进气口之间均存在一条气流通道,且每个出气孔与进气口之间的气流通道的长度相等。上述板式PECVD分气板,通过在分气板本体的每个出气孔与进气口之间设置一条气流通道且每条气流通道的长度相等,从而保证由多个出气孔均匀分气,进而保证镀膜的均匀性。

本实用新型一种板式PECVD分气板在权利要求书中公布了:1.一种板式PECVD分气板,其特征在于,包括: 分气板本体; 进气口,设置在所述分气板本体上表面; 出气孔,均匀分布在所述分气板本体的下表面; 每个所述出气孔与所述进气口之间均存在一条气流通道,且每个所述出气孔与所述进气口之间的所述气流通道的长度相等。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人三一硅能(株洲)有限公司,其通讯地址为:412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号楼518-50室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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