中微半导体设备(上海)股份有限公司李晓磊获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223074249U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422055845.2，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备是由李晓磊;王再冉;张昭;张凯设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于气相沉积设备的盖板组件，包括侧壁板、盖板和压紧组件。压紧组件包括固定块和活动块，固定块连接于侧壁板内壁；活动块设置于盖板的上表面且可相对固定块沿第一方向移动，使得第一接触面和第二接触面压紧以将盖板和侧壁板压紧或反向运动以松开，第一接触面的法向与第一方向之间的夹角为锐角。本实用新型的用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备，通过压紧组件将盖板和侧壁板之间压紧，在保证盖板和侧壁板之间可靠密封的前提下，盖板发生热应变时可沿水平方向膨胀或收缩，降低盖板因在受热情况下发生热应变下导致弯曲变形量，盖板通过水平方向形变释放热应力同时能够保证盖板和侧壁板之间的密封连接。
本实用新型一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种用于气相沉积设备的盖板组件，其特征在于，所述盖板组件包括： 侧壁板； 盖板，其抵靠所述侧壁板的接收部； 压紧组件，包括： 固定块，所述固定块连接于所述侧壁板的内壁，所述固定块上设有第一接触面； 活动块，所述活动块上设有第二接触面，所述第二接触面与所述固定块的第一接触面形状相匹配且相对设置；所述活动块与所述侧壁板活动连接且设置于所述盖板的上方，所述活动块可相对所述固定块沿第一方向移动，使得所述第一接触面和所述第二接触面压紧以将所述盖板和所述接收部压紧或反向运动以松开。
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