马鞍山智温优半导体科技有限公司何志森获国家专利权
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龙图腾网获悉马鞍山智温优半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223078600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422118581.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种晶圆光刻设备是由何志森设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆光刻设备，包括底板，所述底板顶部的后侧固定连接有背板，所述背板的顶部固定连接有顶板，所述底板顶部的左侧固定连接有定位座，所述底板顶部的右侧固定连接有晶圆放置盒，所述顶板的表面开设有方槽。本实用新型通过电动伸缩杆的启动带动吸盘机械手向下移动，使其与晶圆表面接触对其进行抓取，螺块移动到方槽左方时晶圆位于定位座的正上方，使电动伸缩杆伸展，晶圆的下表面与定位座接触，同时使吸盘机械手解除对晶圆的抓取，以此达到了可以便捷的将晶圆放置在定位座的上方，无需工作人员手动对晶圆进行移动，避免了晶圆在移动时出现碰撞损坏的情况，提高晶圆光刻的良品率，方便使用者使用的效果。
本实用新型一种晶圆光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆光刻设备，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部的后侧固定连接有背板（2），所述背板（2）的顶部固定连接有顶板（3），所述底板（1）顶部的左侧固定连接有定位座（4），所述底板（1）顶部的右侧固定连接有晶圆放置盒（5），所述顶板（3）的表面开设有方槽（6），所述顶板（3）的右侧固定连接有正反电机（7），所述正反电机（7）的输出端贯穿至方槽（6）的内部并固定连接有螺杆（8），所述螺杆（8）的左端与方槽（6）内壁的左侧转动连接，所述螺杆（8）的表面螺纹连接有螺块（9），所述螺块（9）的前后两侧均与方槽（6）内壁的前后两侧滑动连接，所述螺块（9）的底部固定连接有电动伸缩杆（10），所述电动伸缩杆（10）的底部固定连接有移动板（11），所述移动板（11）的底部固定连接有吸盘机械手（12），所述吸盘机械手（12）位于晶圆放置盒（5）上方，所述顶板（3）底部左方的前侧设置有光刻机械手（13）。
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