源卓微纳科技(苏州)股份有限公司白昊东获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种光刻镜头和光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223078599U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422116166.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻镜头和光刻机是由白昊东;张柯;张雷设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻镜头和光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种光刻镜头和光刻机，包括沿第一光轴方向依次设置的第一透镜组、第一反射镜，沿第二光轴方向依次设置的第二反射镜、第二透镜组、第三透镜组，物面发出的光束经过所述第一透镜组，由所述第一反射镜反射至正向经过所述第二透镜组后，由所述第二反射镜反射至反向经过所述第二透镜组，然后经过所述第三透镜组会聚成像面。本实用新型的光刻镜头的结构具备优异的成像性能，可以实现较大的视场，能够直接实现大面积的光刻图形加工，从而解决现有光刻镜头视场小的问题；另外，采用反射式结构，使光束正反向两次经过第二透镜组，保证光束传输距离的同时使镜片数量减少一半，从而有效减小光刻镜头的体积，降低光刻镜头的成本。
本实用新型一种光刻镜头和光刻机在权利要求书中公布了：1.一种光刻镜头，应用于紫外波段，其特征在于，包括沿第一光轴方向依次设置的第一透镜组、第一反射镜，沿第二光轴方向依次设置的第二反射镜、第二透镜组、第三透镜组，所述第一光轴方向和所述第二光轴方向垂直； 所述第一反射镜设置于所述第二透镜组和所述第三透镜组之间，且与所述第一光轴方向成45°夹角，所述第二反射镜与所述第二光轴方向垂直；物面发出的光束经过所述第一透镜组，由所述第一反射镜反射至正向经过所述第二透镜组后，由所述第二反射镜反射至反向经过所述第二透镜组，然后经过所述第三透镜组会聚成像面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人源卓微纳科技(苏州)股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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