东莞市赛富特智能科技有限公司邹宇斌获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市赛富特智能科技有限公司申请的专利一种向基层材料上增加镀层的加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223074241U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422149142.6,技术领域涉及:C23C14/30;该实用新型一种向基层材料上增加镀层的加工设备是由邹宇斌设计研发完成,并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种向基层材料上增加镀层的加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种向基层材料上增加镀层的加工设备,包括:沉积室,其内部空腔为用于镀膜的工作空间;脉冲电子束沉积模块,设置于所述沉积室上,并与沉积室共同形成一个封闭的空腔,该空腔可通过抽气形成真空环境;所述脉冲电子束沉积模块设置于沉积室的顶部,或底部,或顶部和底部,或单侧面,或双侧面。对现有技术中的溅镀相比,脉冲电子束沉积由于其脉冲的特性,能耗表现更为优异。通过调整脉冲间隔参数,每平米基层材料镀膜的能源消耗成本,可实现降低70%,另外透过参数调整可实现工况下在线任意调整沉积厚度,在同一张膜上实现阶梯厚度差,并且相对沉积材料利用率极优,因此进一步节省靶材及沉积室清洁成本。
本实用新型一种向基层材料上增加镀层的加工设备在权利要求书中公布了:1.一种向基层材料上增加镀层的加工设备,其特征在于:包括: 沉积室,其内部空腔为用于镀膜的工作空间; 脉冲电子束沉积模块,设置于所述沉积室上,并与沉积室共同形成一个封闭的空腔,该空腔可通过抽气形成真空环境,本底真空度低于1E-3Pa; 所述脉冲电子束沉积模块设置于沉积室的顶部,或底部,或顶部和底部,或单侧面,或双侧面。
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