苏州航凯微电子技术有限公司盖广洪获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州航凯微电子技术有限公司申请的专利一种电容式六维力传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223077790U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422162492.6,技术领域涉及:G01L5/165;该实用新型一种电容式六维力传感器是由盖广洪;梁隆胤;庞天赐;颜逊设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容式六维力传感器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种电容式六维力传感器,包括底部极板、焊盘和顶部极板,所述顶部极板顶部设置有波纹环,所述顶部极板底部设置有顶部电极、顶部硅柱和顶部支撑环;所述底部极板顶部设置有底部电极、底部硅柱、底部支撑环和参考电容,底部电极、底部支撑环和参考电容均连接有焊盘。本实用新型,利用梳齿型电极结构,大幅增加了极板间的重叠面积,在受力或力矩作用时,上下极板电极的重叠面积的变化量也随之变大,输出电容信号变化量增大,从而增加了灵敏度。
本实用新型一种电容式六维力传感器在权利要求书中公布了:1.一种电容式六维力传感器,其特征在于:包括底部极板1、焊盘2和顶部极板3,所述顶部极板3顶部设置有波纹环4,所述顶部极板3底部设置有顶部电极、顶部硅柱31和顶部支撑环32;所述底部极板1顶部设置有底部电极、底部硅柱12、底部支撑环14和参考电容15,底部电极、底部支撑环14和参考电容15均连接有焊盘2。
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