深圳市昇茂科技有限公司付强获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昇茂科技有限公司申请的专利一种晶圆的上蜡贴附工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223079083U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422185008.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆的上蜡贴附工装是由付强;陈宁;刘大伟;梁永聪;马宇宙;邓捷设计研发完成,并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的上蜡贴附工装在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种晶圆的上蜡贴附工装,包括两第一固定柱;两所述第一固定柱平行间隔布置,且两所述第一固定柱相对的一端之间各连接一第一连接柱;两所述第一连接柱之间还连接一第二连接柱;所述第二连接柱的顶部两端各连接一第一立柱,且两第一立柱的上部之间还连接有第一横梁;所述第一横梁的底部安装有下压驱动机构,且下压驱动机构还驱动连接一下压板。本实用新型设计合理、结构紧凑,使用方便,可极大提高晶圆上蜡贴附的效率,同时,可节约人力资源,进而降低人工成本,此外,下压板与下压气缸采用浮动连接的方式,可对下压板提供活动自由度,保证工装可以加热板为基准将产品压平整,提高贴附精度。
本实用新型一种晶圆的上蜡贴附工装在权利要求书中公布了:1.一种晶圆的上蜡贴附工装,其特征在于,包括两第一固定柱;两所述第一固定柱平行间隔布置,且两所述第一固定柱相对的一端之间各连接一第一连接柱;两所述第一连接柱之间还连接一第二连接柱;所述第二连接柱的顶部两端各连接一第一立柱,且两第一立柱的上部之间还连接有第一横梁;所述第一横梁的底部安装有下压驱动机构,且下压驱动机构还驱动连接一下压板;所述第二连接柱的顶部中间与下压板对应处还连接一底板,且底板的两端分别延伸至一第一固定柱的顶部布置;所述底板的顶部还安装有隔热板,且隔热板的顶部还安装有加热板;所述加热板的顶部用于承载待贴装的产品,且加热板的内部还安装有用于加热的加热件。
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