新上联半导体设备(上海)有限公司郑宇伦获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉新上联半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种真空排气系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223076758U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422182672.0，技术领域涉及：F17D1/02；该实用新型一种真空排气系统是由郑宇伦;李浩设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空排气系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种真空排气系统，应用于半导体加工技术领域，其包括从上至下依次连接的抽气主管、隔离腔和排气主管，所述抽气主管竖置，所述隔离腔包括横置的直管，所述抽气主管上还设有多个压力计和压力开关，所述压力开关包括控制模块、第一压力开关和第二压力开关，所述第一压力开关检测所述抽气主管内的压力，防止抽气主管承受气压过大；所述第二压力开关用于检测抽气主管与灯室内的差压，防止差压过大导致控制模块死机；相较于多个拐弯角度的隔离腔的设计，具有较高的抽气效率；且抽气主管两侧空间更多，能安装较多的压力计和压力开关，对所述真空排气系统进行更精确地控制。
本实用新型一种真空排气系统在权利要求书中公布了：1.一种真空排气系统，其特征在于，包括： 抽气主管，所述抽气主管竖置，所述抽气主管的进风口连接于待处理空间，所述抽气主管上设有压力开关； 设于抽气主管之上的第一气体阀门和第二气体阀门，第一气体阀门设于所述第二气体阀门上游，所述第二气体阀门通有氮气； 隔离腔，所述隔离腔包括横置的直管，所述抽气主管的出风口连接于所述隔离腔的进风口，所述隔离腔设有隔离阀和节流阀； 排气主管，所述排气主管竖置，所述排气主管的进风口连接于所述隔离腔的出风口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新上联半导体设备(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区飞渡路55号2幢厂房A单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号