肇庆祥钰真空科技有限公司刘金文获国家专利权
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龙图腾网获悉肇庆祥钰真空科技有限公司申请的专利一种真空镀膜夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223074246U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422270618.1,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种真空镀膜夹具是由刘金文;刘昕颐;王玉凉设计研发完成,并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种真空镀膜夹具,包括管体,管体的外周面用于固定若干圈沿管体的轴线分布的基片,管体包括中心管部、两个位于中心管部的两端且直径逐渐增大的第一渐宽管部,第一渐宽管部的小径端与中心管部的端部连接,第一渐宽管部的大径端向远离中心管部的方向延伸设置,中心管部的中心横截面与点蒸发源对齐。本实用新型的一种真空镀膜夹具,能够使夹具上沿夹具的轴向的各个点位置的基片的镀膜厚度更加均匀。
本实用新型一种真空镀膜夹具在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜夹具,包括管体(100),所述管体(100)的外周面用于固定若干圈沿所述管体(100)的轴线分布的基片,其特征在于:所述管体(100)包括中心管部(110)、两个位于所述中心管部(110)的两端且直径逐渐增大的第一渐宽管部(120),所述第一渐宽管部(120)的小径端与所述中心管部(110)的端部连接,所述第一渐宽管部(120)的大径端向远离所述中心管部(110)的方向延伸设置,所述中心管部(110)的中心横截面与点蒸发源对齐。
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