新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利掩膜版转运机构及掩膜版转运系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223073434U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422280377.9，技术领域涉及：B65G47/90；该实用新型掩膜版转运机构及掩膜版转运系统是由张琪;符友银;芦志明设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜版转运机构及掩膜版转运系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种掩膜版转运机构及掩膜版转运系统，涉及光刻设备技术领域。本申请提供的掩膜版转运机构，包括滑动连接的滑动组件和取放组件，取放组件能够沿滑动组件的延伸方向分别在相互垂直的两方向移动；取放组件包括机械手，机械手用于取放掩膜版；机械手能够沿竖直方向轴线转动。该掩膜版转运机构通过各部件的相对运动减小了整体结构的体积，同时能够带动掩膜版沿多个方向灵活位移和旋转，以实现掩膜版的精准、稳定、高效转运。
本实用新型掩膜版转运机构及掩膜版转运系统在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版转运机构，其特征在于，包括滑动连接的滑动组件110和取放组件120，所述取放组件120能够沿所述滑动组件110的延伸方向分别在相互垂直的两方向移动；所述取放组件120包括机械手121，所述机械手121用于取放掩膜版；所述机械手121能够沿竖直方向轴线转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新毅东(北京)科技有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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