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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洁设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119216326B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411745764.3，技术领域涉及：B08B11/00；该发明授权一种晶圆清洁设备是由黄桐铭设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洁设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆清洁设备，包括：以水平姿态保持晶圆并带动晶圆沿轴向转动的定位装置，用于向晶圆喷洒光催化剂蒸汽的喷淋装置，以及光照装置；光照装置配置于定位装置并形成暴露于晶圆背面的光照部，光照部对晶圆背面照射包含紫外线的光，以激活光催化剂，并由光催化剂去除晶圆背面的有机化合物。本申请通过喷淋装置与光照装置，实现了彻底分解和去除晶圆背面残留的有机化合物。

本发明授权一种晶圆清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洁设备，其特征在于，包括： 以水平姿态保持晶圆并带动晶圆沿轴向转动的定位装置，用于向晶圆喷洒光催化剂蒸汽的喷淋装置，以及光照装置； 所述光照装置配置于所述定位装置并形成暴露于晶圆背面的光照部，所述光照部对晶圆背面照射包含紫外线的光，以激活光催化剂，并由光催化剂去除晶圆背面的有机化合物； 所述光照装置包括：平行背光源，平行背光源朝向所述晶圆背面的一侧形成所述光照部，所述晶圆背面位于所述光照部的照射范围以内； 所述定位装置被构造出容置所述光照装置并使所述光照部暴露于晶圆背面的安装腔； 所述喷淋装置包括：配置于所述定位装置上方的壳体，贯穿所述壳体以向所述晶圆喷洒光催化剂蒸汽的喷淋管，以及内设于所述壳体的保温单元； 所述壳体被构造出容置所述保温单元的混合腔，所述喷淋装置还包括：贯穿所述壳体以向所述混合腔内注入光催化剂蒸汽与向所述晶圆喷洒光催化剂蒸汽以及将注入所述混合腔的光催化剂蒸汽喷洒至所述晶圆的多路阀管； 所述定位装置包括：开设形成所述安装腔的支撑盘，环设于所述支撑盘并沿纵向贯穿所述支撑盘并与所述支撑盘转动连接的至少三个定位柱，同轴配置于所述支撑盘底部外侧并相对于所述支撑盘轴向转动以驱动所述定位柱沿其轴线转动的传动盘，同轴配置于所述传动盘底部并同步带动所述支撑盘与所述传动盘轴向转动的转动底座，以及驱动所述传动盘相对于所述支撑盘与所述转动底座沿轴向转动以驱使所述定位柱于夹持晶圆状态与未夹持晶圆状态之间予以切换的控制组件； 所述定位柱底部外周形成第一齿轮，所述传动盘边缘处被构造出啮合于所述第一齿轮以驱动所述定位柱沿其轴线转动的第二齿轮； 所述转动底座朝向所述传动盘凸伸形成安装柱，所述传动盘被构造出与所述安装柱间隔设置的限位部； 所述控制组件包括：两端分别连接所述安装柱与所述限位部的弹性件；所述弹性件对所述限位部形成弹性作用力以驱动所述传动盘沿第一方向转动，以驱使所述定位柱由未夹持晶圆的状态切换至夹持晶圆的状态； 所述传动盘被构造出贯穿所述转动底座并凹设形成弧面的凸块，所述转动底座开设形成供所述凸块沿轴向转动的让位槽； 所述控制组件还包括：伸缩单元，配置于所述伸缩单元的伸缩杆并随所述伸缩杆的伸缩动作以靠近或远离所述弧面的导块，所述伸缩单元驱动所述伸缩杆伸出以带动所述导块靠近所述弧面，所述导块抵持所述弧面以推动所述传动盘沿反向于所述第一方向的第二方向转动，以驱使所述定位柱由夹持晶圆的状态切换至未夹持晶圆的状态。

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