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龙图腾网获悉无锡维斯博科技有限公司申请的专利一种智能型晶圆片加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626979B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411874536.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种智能型晶圆片加工装置是由吴富强;尤沁佳设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种智能型晶圆片加工装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种智能型晶圆片加工装置，包括主体，所述主体上设置有工作台，所述工作台上活动设置有清洗头，还包括有挡水罩，固定柱，设置在工作台的中心处，所述固定柱内设置有用以固定和支撑晶圆片的支撑件；延伸杆，所述延伸杆设置有多个且呈圆周阵列设置在固定柱外侧，多个所述延伸杆均滑动设置在固定柱外侧；自适应夹持组件，设置在延伸杆的端部，能够对晶圆片的外侧进行夹持，配合支撑件对晶圆片进行清洗时的定位，此智能型晶圆片加工装置，利用静电吸附模块和支撑块的交替支撑，通过延伸杆和牵拉件的配合，实现了夹持板角度的动态调节，能够周期性地露出晶圆片被夹持的侧面，避免了清洗盲区。

本发明授权一种智能型晶圆片加工装置在权利要求书中公布了：1.一种智能型晶圆片加工装置，包括主体（1），所述主体（1）上设置有工作台（2），所述工作台（2）上活动设置有清洗头，清洗头设置有两个且分别位于晶圆片夹持工位的上下两侧，其特征在于：还包括有： 挡水罩（3），设置在工作台（2）上； 固定柱（4），设置在工作台（2）的中心处，所述固定柱（4）内设置有用以固定和支撑晶圆片的支撑件（5）； 延伸杆（6），所述延伸杆（6）设置有多个且呈圆周阵列设置在固定柱（4）外侧，多个所述延伸杆（6）均滑动设置在固定柱（4）外侧； 自适应夹持组件（7），设置在延伸杆（6）的端部，能够对晶圆片的外侧进行夹持，配合支撑件（5）对晶圆片进行清洗时的定位； 所述固定柱（4）内开设有空腔，所述支撑件（5）包括静电吸附模块（51）和支撑块（52），所述静电吸附模块（51）和支撑块（52）相互交错设置有多个且呈圆周设置在固定柱（4）内，所述静电吸附模块（51）和支撑块（52）顶端均滑动贯穿固定柱（4）顶部且延伸至其外侧，空腔内转动设置有驱动环（53），所述驱动环（53）上表面设置有多个凸块（54），所述驱动环（53）转动时带动凸块（54）转动，所述凸块（54）在抵接静电吸附模块（51）和支撑块（52）的底部时能够将其撑起。

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