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泰兴市开始先进半导体材料有限公司张伟获国家专利权

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龙图腾网获悉泰兴市开始先进半导体材料有限公司申请的专利一种用于半导体引线框架加工的蚀刻装置以及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119694892B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411955867.2,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权一种用于半导体引线框架加工的蚀刻装置以及方法是由张伟;殷旭;王惠峰设计研发完成,并于2024-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于半导体引线框架加工的蚀刻装置以及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及引线框架加工设备技术领域,具体公开了一种用于半导体引线框架加工的蚀刻装置,包括主体结构、输送结构、承载单元、分流阀管以及若干喷淋结构,本发明具有导轮维护便捷、设备内壁清理方便的优点,这有助于保持设备内部的清洁,避免因内壁污垢堆积影响设备性能,设备长度根据需求进行拼接可扩展,喷淋蚀刻适应性强,可以根据实际不同的产品尺寸、蚀刻要求来灵活调整喷淋结构的数量和布局,同时承载单元的宽度可调节以及与喷淋结构的配合,能够根据需求设定喷管上的喷头位于第二导轮上方向下喷淋或从第二导轮下方向上喷淋,用于不同的蚀刻时间和方式,以满足不同的蚀刻工艺要求性。

本发明授权一种用于半导体引线框架加工的蚀刻装置以及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体引线框架加工的蚀刻装置,其特征在于,包括主体结构(1)、输送结构(2)、承载单元(3)、分流阀管(4)以及若干喷淋结构(5);所述输送结构(2)可拆卸安置于主体结构(1)内,所述承载单元(3)可拆卸安置于主体结构(1)内且位于输送结构(2)上方,所述分流阀管(4)活动安置于输送结构(2)内且分流阀管(4)上等距设置有若干阀门,若干所述喷淋结构(5)可拆卸安置于承载单元(3)上,且分别通过管道与分流阀管(4)相连接; 所述主体结构(1)包括蚀刻箱(11)、后盖(12)、控制面板(13)、液泵(14)、前挡板(15)、一对对接组件(16)、一对翻转单元(17)以及箱盖(18); 所述蚀刻箱(11)为无上壁的箱体,且蚀刻箱(11)左右两侧壁靠近中部均设置有输送口(61),所述蚀刻箱(11)前侧壁靠近中部开设有清洁口(62),所述蚀刻箱(11)后侧壁靠近中部开设有驱动口(63),所述后盖(12)可拆卸扣装于蚀刻箱(11)后侧的驱动口(63)部位处,所述控制面板(13)固定设置于蚀刻箱(11)前侧壁且位于清洁口(62)上方,所述液泵(14)固定设置于蚀刻箱(11)下壁,且液泵(14)进液端设置有贯穿蚀刻箱(11)左侧壁的第一管道,所述前挡板(15)可拆卸扣装于清洁口(62)部位且通过螺栓固定,所述前挡板(15)前侧壁中部设置有第一把手,一对所述对接组件(16)分别可拆卸安置于蚀刻箱(11)的输送口(61)部位,一对所述翻转单元(17)分别可拆卸至于蚀刻箱(11)后侧壁且靠近顶端相互对称,所述箱盖(18)为凸型框架结构,且箱盖(18)上壁中部内嵌装有玻璃板,所述箱盖(18)活动扣装于蚀刻箱(11)上方,且箱盖(18)分别与翻转单元(17)相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人泰兴市开始先进半导体材料有限公司,其通讯地址为:225400 江苏省泰州市泰兴市黄桥经济开发区韩庄路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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