合肥国镜仪器科技有限公司陆大宝获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥国镜仪器科技有限公司申请的专利一种扫描电镜图像振动消除方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119850464B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510343559.2,技术领域涉及:G06T5/70;该发明授权一种扫描电镜图像振动消除方法和装置是由陆大宝;方小伟设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扫描电镜图像振动消除方法和装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种扫描电镜图像振动消除方法、装置、电子设备和存储介质,方法包括:确定振动采样点;对所述振动采样点进行单点采样所得到的二次电子采样信号进行频谱分析,得到对应的振动振幅信息和振动频率信息;确定频谱分析所得到的频谱图中的信号峰值,并利用目标扫描电镜图像中的边界长度信息拟合所述信号峰值,得到对应的振动相位信息;对所述目标扫描电镜图像进行振动消除处理。本发明实施例提供的扫描电镜图像振动消除方法、装置、电子设备和存储介质通过优化选择振动采样点并进行单点扫描的方式得到主要振动峰的频率‑振幅组合的数值,这样在图形恢复过程中仅需对相位进行拟合,大大提升了图形恢复的效率和效果。
本发明授权一种扫描电镜图像振动消除方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种扫描电镜图像振动消除方法,其特征在于,所述方法包括: 获取待处理的目标扫描电镜图像,并确定所述目标扫描电镜图像中的振动采样点; 对所述振动采样点分别进行预设时间的单点采样所得到的二次电子采样信号进行频谱分析,得到对应的振动振幅信息和振动频率信息;其中,所述单点扫描是指将扫描电镜电子枪固定在所述振动采样点进行电子发射,收集二次电子产额随时间的变化曲线;样品的空间位移会被等比例放缩为二次电子产额的变化;确定频谱分析所得到的频谱图中的信号峰值,并利用目标扫描电镜图像中的边界长度信息拟合所述信号峰值,得到对应的振动相位信息; 利用所述振动振幅信息、所述振动频率信息和所述振动相位信息对所述目标扫描电镜图像进行振动消除处理; 其中,所述确定频谱分析所得到的频谱图中的信号峰值,并利用目标扫描电镜图像中的边界长度信息拟合所述信号峰值,得到对应的振动相位信息,具体包括: 确定目标扫描电镜图像中振动采样点所在的边界长度;以边界长度作为适应函数拟合所述信号峰值,得到对应的振动相位信息,包括:从所述频谱图中识别并选择最显著的几个峰作为信号峰值并使用振动采样点所在的边界长度作为拟合信号峰值的适应函数,通过调整振动相位的参数,计算不同相位组合下目标扫描电镜图像的边界长度,并寻找使得边界长度最短的相位组合; 或者, 确定目标扫描电镜图像中振动采样点所在的边界上的像素值;将边界上的像素值进行快速傅里叶变换,通过比较不同相位组合下的快速傅里叶变换的结果,确定出边界像素值变化最平缓的振动相位信息。
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