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龙图腾网获悉浙江赛瑾半导体科技有限公司申请的专利一种底座可清洗的光罩盒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119987124B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510449354.2，技术领域涉及：G03F1/66；该发明授权一种底座可清洗的光罩盒是由谢全龙;童明设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种底座可清洗的光罩盒在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体载具技术领域，特别涉及一种底座可清洗的光罩盒，其包括底座，锁止机构。所述锁止机构包括转动盘，弹性连接件，锁止板。所述转动盘包括盘体，连接柱，滑动槽。与现有技术相比，本发明通过设置塑料或者橡胶材质制成的所述弹性连接件，实现开合自锁的同时避免了酸洗时产生金属离子污染，使得所述底座可以进行清洗，同时适用于酸碱环境。设置所述弹性限位柱的排列方向与所述锁止板的运动方向垂直，缩短所述弹性连接件的长度，使得塑料或者橡胶材质制成的所述弹性连接件的结构强度满足使用要求。并通过设置所述滚轮与锁紧斜块，防止塑料或者橡胶材质制成的所述弹性连接件强度不够无法对所述锁止板进行支撑的情况。

本发明授权一种底座可清洗的光罩盒在权利要求书中公布了：1.一种底座可清洗的光罩盒，其特征在于：所述底座可清洗的光罩盒包括一个底座，一个扣合在所述底座上的盒盖，以及一个设置在所述底座内的锁止机构，所述底座包括一个底板，所述底板的远离所述盒盖的一侧设置有一个转动柱，两个设置在所述转动柱两侧的弹性限位柱，两个设置在所述转动柱及弹性限位柱两侧的锁紧限位区，四个设置在所述锁紧限位区内的锁紧限位块，以及四个设置在所述锁紧限位区内的锁紧斜块，每个所述锁紧限位块均包括两个抵顶部，一个连接在两个所述抵顶部之间的连接部，以及一个设置在靠近所述转动柱一侧的抵顶部上的卡扣部，所述卡扣部位于所述抵顶部的远离所述底板的顶部，所述锁止机构包括一个转动盘，两个设置在所述弹性限位柱与所述转动盘之间的弹性连接件，以及两个设置在所述锁紧限位区内的锁止板，所述转动盘包括一个盘体，两个对称设置在所述盘体上的连接柱，以及两道对称设置在所述盘体上的滑动槽，两个所述滑动槽的槽身的延伸形状形成一个椭圆形，所述滑动槽的两端分别位于椭圆的长轴和短轴的顶点，每个所述弹性连接件均包括一个弹性主体，一个位于所述弹性主体一端的第一连接端，以及一个位于所述弹性主体另一端的第二连接端，所述弹性主体为一个S状的结构，采用塑料或者橡胶材质制成，所述第一连接端与第二连接端上均设置有一个圆形套筒，所述第一连接端套设在所述连接柱上，所述第二连接端套设在所述弹性限位柱上，每个所述锁止板均包括一个主板，一个插设在所述滑动槽内的滑动端，两个开设在所述主板上的限位孔，两个设置在所述主板上的滚轮，以及两个设置在所述主板上的锁舌，所述限位孔的靠近所述卡扣部的一端设置一个加强板，在所述锁舌从所述锁紧限位区伸出时，与所述卡扣部进行抵顶，两个所述滚轮均设置在所述主板上，并与所述锁紧斜块位置重合，每个所述滚轮的转动方向均与所在的所述锁止板的运动方向一致，所述弹性限位柱的排列方向与所述锁止板的运动方向垂直设置。

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