苏州晨晖智能设备有限公司张鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晨晖智能设备有限公司申请的专利一种直拉硅单晶用石英坩埚及用直拉法生长硅单晶锭的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119956474B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510450095.5,技术领域涉及:C30B15/10;该发明授权一种直拉硅单晶用石英坩埚及用直拉法生长硅单晶锭的方法是由张鹏;许堃;闫洪嘉;梁勇;吴松设计研发完成,并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种直拉硅单晶用石英坩埚及用直拉法生长硅单晶锭的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及硅单晶制备技术领域,提供了直拉硅单晶用石英坩埚及生长硅单晶锭的方法,在石英坩埚内腔侧表面,布置有一条或多条相对石英坩埚内腔侧表面凸起的第一凸棱,具有第一凸棱压制角10°≤α1≤85°;第一凸棱的高度大于石英坩埚内腔侧表面液态硅的第一边界层厚度,或在石英坩埚内腔底部表面,设置有一条或多条相对石英坩埚内腔底部表面凸起的第二凸棱,具有第二凸棱压制角α2,第二凸棱压制角α2随距z轴距离r的增加逐渐变小,变化的范围为2°<α2<78°,以实现压制液态硅流,降低氧含量。硅单晶制备方法中将埚转等效角速度ω作为控制方法中的重要调整参数,可简化工艺调控过程,更容易达到理想的控制效果。
本发明授权一种直拉硅单晶用石英坩埚及用直拉法生长硅单晶锭的方法在权利要求书中公布了:1.一种直拉硅单晶用石英坩埚,其xy平面截面内腔呈准圆形,在所述石英坩埚内腔侧表面,围绕z轴旋转布置有多条相对所述石英坩埚内腔侧表面凸起的第一凸棱,其特征在于,所述第一凸棱的旋向与所述石英坩埚的旋向相反,所述第一凸棱具有第一凸棱压制角,;所述第一凸棱的高度大于所述石英坩埚内腔侧表面液态硅的第一边界层厚度;观察所述石英坩埚内腔侧表面凸起的所述第一凸棱轮廓线与xoz平面的一交点p,所述石英坩埚绕其竖直对称轴由0方位旋转弧度Δθ,引起交点p沿所述第一凸棱在xoz平面上移动距离Δl,则将在点p附近的角α定义为压制角: 其中d是z轴到交点p的距离。
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