买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉恒脉微电子(杭州)有限公司申请的专利一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法及制得的压电微泵获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119995394B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510458946.0，技术领域涉及：H02N2/00；该发明授权一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法及制得的压电微泵是由李懿霖;滕乙超;鞠若麟;夏疆设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法及制得的压电微泵在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法及制得的压电微泵；该方法如下：对片状材料进行加工，形成相同的多个器件单元；多片片状材料分别形成压电微泵泵体的不同器件层对应的单层阵列结构。对位并键合形成包含多个泵体的整版阵列泵体结构。划片分离出独立的泵体。本发明通过化学刻蚀、光刻以及激光加工可以得到具备阵列器件单元的单层阵列结构；通过对不同器件的单层阵列结构进行键合后划片即可同步得到多个独立的压电微泵，这样的制备过程可以对压电微泵成板制备，有效提高了压电微泵的生产效率，并使得压电微泵具有更高的稳定性和一致性。

本发明授权一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法及制得的压电微泵在权利要求书中公布了：1.一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法，其特征在于：包括以下步骤： 对片状材料进行加工，形成相同的多个器件单元；多片片状材料分别形成压电微泵泵体的不同器件层对应的单层阵列结构； 对压电微泵泵体的不同器件层对应的单层阵列结构对位并键合，形成包含多个泵体的整版阵列泵体结构； 对整版阵列泵体结构进行划片，分离出独立的泵体； 在片状材料上，划片的分割路径合围形成多个分割区域；在单个分割区域上加工出单个器件层的结构；所述器件层包括电极层；加工电极层对应的单层阵列结构的过程如下：在分割区域加工出电极层镂空结构；所述电极层镂空结构包括中心通槽（6-1）、第一分隔槽（6-3）和第二分隔槽（6-4）；所述第一分隔槽（6-3）和第二分隔槽（6-4）的一端分别连接在中心通槽（6-1）处的不同位置；第一分隔槽（6-3）和第二分隔槽（6-4）均与划片的分割路径相交；所述第一分隔槽（6-3）与第二分隔槽（6-4）将分割区域内的实体结构分为两个导电部；两个导电部分别为第一导电部（6-6）和第二导电部（6-7）；第一导电部（6-6）延伸出接线端子（6-5）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恒脉微电子(杭州)有限公司，其通讯地址为：311231 浙江省杭州市萧山区新街街道萧山机器人小镇鸿兴路389号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。