恭喜应用材料公司V·D·帕克荷获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利E吸盘与铝基构造的结合结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109599356B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811139451.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权E吸盘与铝基构造的结合结构是由V·D·帕克荷;R·A·林德利设计研发完成，并于2018-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本E吸盘与铝基构造的结合结构在说明书摘要公布了：本公开是将静电吸盘结合到温度控制基部的方法。根据实施方式，在包括静电吸盘的介电主体与温度控制基部之间形成结合层。流孔延伸穿过介电主体并且与温度控制基部中的流孔对准。结合层还配置有开口，开口与介电主体和温度控制基部中的孔对准。在一个方面中，可以将多孔插塞设置在流孔内以保护结合层。在另一方面中，将密封件设置在流孔内以密封结合层，使其与流孔中的气体隔离。
本发明授权E吸盘与铝基构造的结合结构在权利要求书中公布了：1.一种结合层结构，包括： 第一主体，具有从其中穿过的第一流孔和设置于其中的电极； 第二主体，具有从其中穿过的第二流孔和设置于其中的通道；和 结合层，设置在所述第一主体与所述第二主体之间，所述结合层包括： 第一结合层，粘附到所述第一主体并且具有延伸穿过所述第一结合层的第一开口；和 第二结合层，直接粘附到所述第一结合并且具有延伸穿过所述第二结合层的第二开口，其中所述第二开口具有大于所述第一开口的第一直径的第二直径。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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