恭喜中芯长电半导体(江阴)有限公司王厚农获国家专利权
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龙图腾网恭喜中芯长电半导体(江阴)有限公司申请的专利CP探针机及其调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112053966B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910492031.6，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权CP探针机及其调节方法是由王厚农;李彦勋;顾雯霞;罗世凯设计研发完成，并于2019-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本CP探针机及其调节方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种CP探针机及其调节方法，CP探针机包括晶圆承载台；至少两个高度调节装置，高度调节装置与晶圆承载台相接触；支撑件，支撑件与晶圆承载台活动连接，通过支撑件支撑晶圆承载台，且支撑件位于高度调节装置之间；控制器，控制器与高度调节装置电连接，通过控制器调节高度调节装置的高度，以调节晶圆承载台的水平位置。本发明可实现对晶圆承载台的水平位置的调节，从而使得CP探针机可自动检测及校正探针卡与晶圆承载台之间的相互水平位置，提高生产效率、提高CP测试结果准确性、提高产品质量、降低成本，并提高了CP探针机的适用性。
本发明授权CP探针机及其调节方法在权利要求书中公布了：1.一种CP探针机，其特征在于，所述CP探针机包括： 晶圆承载台； 至少两个高度调节装置，所述高度调节装置与所述晶圆承载台相接触； 支撑件，所述支撑件与所述晶圆承载台活动连接，通过所述支撑件支撑所述晶圆承载台，且所述支撑件位于所述高度调节装置之间； 控制器，所述控制器与所述高度调节装置电连接，通过所述控制器调节所述高度调节装置的高度，以调节所述晶圆承载台的水平位置； 所述高度调节装置包括依次相连接的驱动件、传动件及升降件，其中，所述驱动件与所述控制器电连接，所述升降件与所述晶圆承载台相接触，通过所述控制器启动所述驱动件，通过所述传动件带动所述升降件运行，以调节所述晶圆承载台的水平位置；所述高度调节装置位于所述晶圆承载台的底部边缘，且相邻的所述高度调节装置等间距分布；所述支撑件位于所述晶圆承载台的底部中心，各个所述高度调节装置与所述支撑件具有相等的间距，所述支撑件包括球形支撑轴。
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