厦门脉驰科技有限公司孙志军获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门脉驰科技有限公司申请的专利一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112834036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011636504.4，技术领域涉及：G01J3/28；该发明授权一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法是由孙志军设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，以提高其光谱分辨率、降低微腔阵列中腔内介质层的制备方法的工艺复杂性；所述的微型光谱仪模组中包括具有以金属薄膜为反射层的Fabry‑Perot结构的微腔阵列和探测器阵列；所述的提高光谱分辨率的方法包括通过基于准单色光的预置校准信息和光谱重构来获取光谱的方法、和增加微腔阵列中的微腔单元数目；所述的微腔阵列中腔内介质层的制备方法是通过较少次数的工艺步骤来获得具有较大数目的不同厚度的腔内介质层，以此实现具有较大数目微腔单元的微腔阵列。
本发明授权一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法在权利要求书中公布了：1.一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：微型光谱仪模组包括微腔阵列和探测器阵列，微腔阵列中设置多个微腔单元，每个微腔单元具有以厚度为5～100nm的金属薄膜为反射层的Fabry-Perot结构，不同的微腔单元具有不同的腔内介质层厚度； 微腔阵列的制备中，具有不同厚度的腔内介质层的制备是通过薄膜淀积工艺多次选择性地在微腔阵列的不同区域内淀积薄膜堆积形成，不同厚度的腔内介质层材料的薄膜淀积次数少于微腔阵列中具有不同厚度的腔内介质层的微腔单元的数目；通过N次腔内介质层材料的薄膜淀积工艺，最多可形成2N-1个不同厚度的腔内介质层的微腔单元； 所述的探测器阵列由其固有的多个探测器单位像素构成，探测器阵列被规划为具有多个探测器单元，每个探测器单元包含有一个或多个探测器单位像素；所述的微腔阵列中的各个微腔单元分别与探测器阵列中的各个探测器单元相对应； 微型光谱仪模组在使用前利用校准光源为波长可调的准单色光的预置校准测试系统进行预置校准，在使用过程中基于预置校准信息和光谱重构计算来获取光谱。
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