梭特科技股份有限公司卢彦豪获国家专利权
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龙图腾网获悉梭特科技股份有限公司申请的专利利用光影观测固晶过程的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115732354B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111010777.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权利用光影观测固晶过程的方法是由卢彦豪设计研发完成，并于2021-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用光影观测固晶过程的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种利用光影观测固晶过程的方法，包括下列步骤：吸嘴吸取晶粒并位于基板上方；侧向光源的光线往晶粒的方向照射，使晶粒的光影投射在基板上；第一影像捕获设备撷取光影影像并将光影影像信息传送至控制装置；控制装置控制吸嘴往基板的方向移动；在晶粒移动至晶粒放置区以后，光影消失或剩小范围，第一影像捕获设备未撷取到光影影像或仅撷取到小范围影像，控制装置控制吸嘴停止移动，使晶粒完全固定于晶粒放置区上。以此，本发明能够通过观察光影监测晶粒和基板的相对位置，控制吸嘴的移动距离，以确保吸嘴直接且精准地将晶粒固定于基板上。
本发明授权利用光影观测固晶过程的方法在权利要求书中公布了：1.一种利用光影观测固晶过程的方法，其特征在于，包括下列步骤： 步骤a一吸嘴吸取一晶粒并且位于一基板的一晶粒放置区的上方，所述晶粒与所述基板平行； 步骤b一侧向光源的一光线从所述晶粒的一侧上方以相对所述晶粒倾斜的一照射角度往所述晶粒的方向照射，使得所述晶粒的一光影投射在所述基板上； 步骤c一第一影像捕获设备撷取所述光影的影像以获得一光影影像信息，并且将所述光影影像信息传送至一控制装置； 步骤d所述控制装置控制所述吸嘴往所述基板的方向移动，所述光影逐渐往所述晶粒放置区的方向移动，所述第一影像捕获设备持续撷取所述光影的影像并且持续将所述光影影像信息传送至所述控制装置；以及 步骤e在所述晶粒移动至所述晶粒放置区以后，所述光影完全消失或剩下一小范围，所述第一影像捕获设备未撷取到所述光影的影像或仅撷取到所述光影的小范围影像以获得一小范围影像信息，所述控制装置未接收到所述光影影像信息或接收到所述小范围影像信息并且控制所述吸嘴停止移动，使得所述晶粒完全固定于所述晶粒放置区上。
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