拓荆科技股份有限公司黄明策获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334771B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111632288.0，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置是由黄明策;吴凤丽;谭华强设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种对中检测装置，应用于待检测装置，所述待检测装置包括第一待检测装置和第二待检测装置，所述对中检测装置包括底座和至少3个位置测量机构，所述位置测量机构包括电连接的测量部和数据读取部，所述底座设置于所述第一待检测装置，所述测量部用于测量所述测量部的测量端部与所述第二待检测装置之间的距离，所述数据读取部用于读取所述测量部测得的所述距离，以根据所述距离调整所述第一待检测装置的位置，使所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现对中，解决了对中装置无法对套设在一起的待检测装置进行对中的问题，且该装置可以在真空条件下对待检测装置进行对中。本发明同时提供了一种应用于晶圆加热盘的对中装置。
本发明授权对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置在权利要求书中公布了：1.一种对中检测装置，应用于待检测装置，其特征在于，所述待检测装置包括第一待检测装置和第二待检测装置，且所述第一待检测装置套设于所述第二待检测装置；所述对中检测装置包括底座和至少3个位置测量机构，所述位置测量机构包括电连接的测量部和数据读取部，所述测量部设置于所述底座，各个所述测量部圆周设置且以所述底座的中心为圆心；所述底座设置于所述第一待检测装置，所述测量部用于测量所述测量部的测量端部与所述第二待检测装置之间的距离，所述数据读取部用于读取所述测量部测得的所述距离，以根据所述距离调整所述第一待检测装置的位置，使所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现对中； 还包括零点校准组件，所述零点校准组件设置于所述底座，所述零点校准组件用于校准所述测量部； 所述零点校准组件包括至少3个零点校准件，所述零点校准件设置于所述底座的侧壁，且所述零点校准件与所述测量部相对设置。
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