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龙图腾网获悉合肥亦威科技有限公司申请的专利一种用于半导体生产的热交换系统及热交换方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115539838B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210081866.4，技术领域涉及：F17D1/14；该发明授权一种用于半导体生产的热交换系统及热交换方法是由冯雄涛;金鑫;顾佳星;张斌设计研发完成，并于2022-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体生产的热交换系统及热交换方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种用于半导体生产的热交换系统，包括为热交换系统提供循环液的冷冻液系统、为热交换系统提供去离子循环液的去离子回路系统、厂务水系统和作为系统储液装置的储液系统，冷冻液系统的进、出液端与储液系统连接构成一个循环液的循环回路；一种用于半导体生产的热交换系统的热交换方法，包括以下过程：通过立式多级离心泵将水箱中的循环液实现一个独立的循环回路，循环液依次进入负载装置、集成回液装置和板式换热装置后进入水箱。本发明解决了热交换系统热交换时间过短，系统庞大，集成度比较低的问题，从而提高了热量交换的充分性，提高对于厂务水系统的利用率。

本发明授权一种用于半导体生产的热交换系统及热交换方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体生产的热交换系统，包括为热交换系统提供循环液的冷冻液系统（200）、为热交换系统提供去离子循环液的去离子回路系统（300）、厂务水系统（400）和作为系统储液装置的储液系统（500），其特征在于：所述冷冻液系统（200）的进、出液端与储液系统（500）连接构成一个循环液的循环回路，去离子回路系统（300）接入冷冻液系统（200）和储液系统（500）之间，厂务水系统（400）接入冷冻液系统（200）中； 冷冻液系统（200）包括由储液系统（500）出液端依次按顺序连接并接入其进液端的立式多级离心泵（110）、压力传感器（120）、第一温度传感器（130）、负载装置（210）、回液回路（220）、集成回液装置（230）和板式换热装置（240）； 回液回路（220）共设置为四路，回液回路（220）设置在负载装置（210）和集成回液装置（230）之间，回液回路（220）包括由右向左通过管道依次连接的过滤器（221）、截止阀（222）和流量计（223）； 集成回液装置（230）包括设置在其进液侧上的四个焊接接头（231），还包括设置在集成回液装置（230）出液侧上的一个连接接头（232）； 集成回液装置（230）通过四个焊接接头（231）配合管道分别与四路回液回路（220）连通，集成回液装置（230）通过连接接头（232）配合管道与板式换热装置（240）连通； 板式换热装置（240）的进液端设置有配合集成回液装置（230）出液端管道连接使用的焊接接口（241）。

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