苏州汉天下电子有限公司丁焱昆获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汉天下电子有限公司申请的专利一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115102521B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210767333.1,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法是由丁焱昆;赖志国;杨清华设计研发完成,并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法。该体声波滤波器包括:第一衬底;位于第一衬底的沿竖直方向设置的至少两个体声波谐振器,体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构;沿竖直方向相邻设置的体声波谐振器包括第一体声波谐振器和第二体声波谐振器;第一衬底内设置有第一空腔结构,第一空腔结构位于第一体声波谐振器和第一衬底之间,第一空腔结构作为第一体声波谐振器的声反射结构;第二体声波谐振器位于第一空腔结构内,且与第一体声波谐振器在竖直方向间距预设距离。本发明实施例提供的技术方案降低了体声波滤波器的封装尺寸,规避了体声波谐振器间的耦合寄生效应来提升体声波滤波器的带外抑制。
本发明授权一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种体声波滤波器,其特征在于,包括: 第一衬底; 位于所述第一衬底的沿竖直方向设置的至少两个体声波谐振器,所述体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构; 沿竖直方向相邻设置的体声波谐振器包括第一体声波谐振器和第二体声波谐振器; 所述第一衬底内设置有第一空腔结构,所述第一空腔结构位于所述第一体声波谐振器和所述第一衬底之间,所述第一空腔结构作为所述第一体声波谐振器的声反射结构; 所述第二体声波谐振器位于所述第一空腔结构内,且与所述第一体声波谐振器在竖直方向间距预设距离; 所述第一衬底设置有第二容纳凹槽,所述第一体声波谐振器的部分或者全部位于所述第二容纳凹槽内; 所述第一衬底还设置有第三容纳凹槽,所述第二体声波谐振器位于所述第三容纳凹槽内,所述第三容纳凹槽位于所述第二容纳凹槽的底面,所述第三容纳凹槽的水平方向尺寸小于所述第二容纳凹槽的水平方向尺寸; 所述第三容纳凹槽作为所述第一空腔结构; 所述体声波滤波器包括数量更多的体声波谐振器,其他体声波谐振器朝向第一衬底内部的空间延伸,而不是仅在第一衬底表面之上的空间竖直排列。
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