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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115338897B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210908321.6，技术领域涉及：B25J19/00；该发明授权一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法是由王晓尉设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法，涉及半导体制造技术领域，控制设备包括多个光电传感器、主控装置、气体压力控制器和压力调节阀，主控装置用于获取晶圆被吸附或释放时光电传感器的光通量的变化值；将变化值利用正态分析模型进行分析，并将变化值与第一预设值进行比对，得出变化值与第一预设值的偏差值。通过获取晶圆被吸附或释放时光电传感器的光通量的变化值计算得到控制阀调节值，通过气体压力控制器根据控制阀调节值对压力调节阀进行压力调节，以对吸附机构的吸附力进行控制，从而实现自动调节吸附机构的吸附力。由于可以根据不同规格的晶圆自动调节吸附力的大小，从而实现对吸附力的精确控制。

本发明授权一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种真空吸附机械手吸附力控制设备，其特征在于，包括： 多个光电传感器； 主控装置，与多个所述光电传感器电连接，所述主控装置用于获取晶圆被吸附或释放时所述光电传感器的光通量的变化值；将所述变化值利用正态分析模型进行分析，并将所述变化值与第一预设值进行比对，得出所述变化值与所述第一预设值的偏差值；将所述偏差值经过PID算法进行计算，得出控制阀调节值； 气体压力控制器，与所述主控装置电连接； 压力调节阀，与所述气体压力控制器电连接，所述压力调节阀与对应的吸附机构通过管路连通；所述气体压力控制器用于根据所述主控装置输出的所述控制阀调节值对所述压力调节阀进行压力调节，以对所述吸附机构的吸附力进行控制； 真空吸附机械手吸附力控制方法包括以下步骤： 步骤S100，获取晶圆被吸附或释放时光电传感器的光通量的变化值； 步骤S110，将所述变化值利用正态分析模型进行分析，并将所述变化值与第一预设值进行比对，得出所述变化值与所述第一预设值的偏差值； 步骤S120，将所述偏差值经过PID算法进行计算，得出控制阀调节值； 步骤S130，气体压力控制器根据所述控制阀调节值对压力调节阀进行压力调节，以对吸附机构的吸附力进行控制； 在执行所述步骤S100之前还执行以下步骤： 确定是否进行测试运行，若是则执所述测试运行；否则执行所述步骤S100； 确定是否进行测试运行包括确定是否是首次运行，或者确定晶圆的规格是否发生变化，若是首次运行或者若是晶圆的规格发生变化，则执行测试运行。

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