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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种用于搬运晶圆的防水驱动装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115446824B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211159512.3，技术领域涉及：B25J9/10；该发明授权一种用于搬运晶圆的防水驱动装置是由曲泉铀;古市昌稔;刘洋;武一鸣;张平;王晨旭;苗义;朱骏驰;王贺明设计研发完成，并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于搬运晶圆的防水驱动装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，包括外壳以及位于外壳内部的驱动模组，所述驱动模组包括机械臂驱动组件和轴驱动组件，所述机械臂驱动组件的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，所述轴驱动组件通过所述机械臂驱动组件带动所述机械臂运动；所述轴驱动组件位于外壳内部，所述机械臂位于外壳外部；还包括伸缩管，所述伸缩管的一端固定连接机械臂驱动组件远离外壳的一端，另一端固定连接所述外壳。本发明提供的一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，具有防飞溅水的功能，能够适用不同的晶圆搬运场合。

本发明授权一种用于搬运晶圆的防水驱动装置在权利要求书中公布了：1.一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，包括外壳以及位于外壳内部的驱动模组，其特征在于，所述驱动模组包括机械臂驱动组件和轴驱动组件，所述机械臂驱动组件的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，所述轴驱动组件通过所述机械臂驱动组件带动所述机械臂运动；所述轴驱动组件位于外壳内部，所述机械臂位于外壳外部； 还包括伸缩管，所述伸缩管的一端固定连接机械臂驱动组件远离外壳的一端，另一端固定连接所述外壳； 所述机械臂驱动组件远离外壳的一端设置有迷宫件，所述迷宫件远离机械臂驱动组件的一侧设置有蛇形分布的凹槽；所述迷宫件的内部设置有防水油封； 所述外壳内部还设置有升降框架，所述轴驱动组件包括Z轴驱动件，所述Z轴驱动件的输出端连接升降框架，所述Z轴驱动件固定在外壳底部； 所述轴驱动组件包括S轴驱动件，所述S轴驱动件的输出端连接机械臂驱动组件，所述S轴驱动件固定在升降框架中； 所述外壳内部设置有固定框架，所述升降框架位于固定框架的内部，所述固定框架的内侧设置有竖直方向上的滑轨，所述升降框架通过下部转接件连接导轨滑块，所述导轨滑块位于滑轨内，且能够沿着滑轨移动。

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