广东安达智能装备股份有限公司贺鸿发获国家专利权
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龙图腾网获悉广东安达智能装备股份有限公司申请的专利耦合双联抽真空装置及抽真空方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115614250B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211384734.5,技术领域涉及:F04B37/14;该发明授权耦合双联抽真空装置及抽真空方法是由贺鸿发;张世源;傅庆源设计研发完成,并于2022-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本耦合双联抽真空装置及抽真空方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种耦合双联抽真空装置及抽真空方法,耦合双联抽真空装置对待抽真空容器进行抽真空,耦合双联抽真空装置包括高压气源、第一转接模块、第二转接模块、第一泵体以及第二泵体,耦合双联抽真空装置具有中心面,第一泵体和第二泵体相对于中心面对称布置,第一泵体内设有第一活塞组件,第二泵体内设有第二活塞组件,工作时第一活塞组件和第二活塞组件相对于中心面成镜像相向运动或镜像相反运动。发明采用相对中心面对称布置的第一泵体和第二泵体,使得第一泵体和第二泵体的作用力及振动相互对冲抵消,实现耦合效果,平衡性好,稳定性高,可满足高精度设备的使用要求,提高产品生产精度和质量。
本发明授权耦合双联抽真空装置及抽真空方法在权利要求书中公布了:1.一种耦合双联抽真空装置,所述耦合双联抽真空装置对待抽真空容器进行抽真空,其特征在于,所述耦合双联抽真空装置包括高压气源、第一转接模块、第二转接模块、第一泵体以及第二泵体; 所述耦合双联抽真空装置具有中心面N,所述第一泵体和第二泵体相对于所述中心面N对称布置; 所述第一泵体内设有第一活塞组件,所述第二泵体内设有第二活塞组件,工作时所述第一活塞组件和第二活塞组件相对于所述中心面N成镜像相向运动或镜像相反运动; 所述第一转接模块通过第一进气通道与高压气源相连接,所述第一转接模块具有第一气路和第二气路,所述第一泵体内形成有第一预真空腔和第二预真空腔,所述第一预真空腔和第二预真空腔均与待抽真空容器连接; 所述第一泵体内具有相互隔开的第一腔体和第二腔体,所述第一腔体内形成有第一驱动腔和第一预真空腔,所述第二腔体内形成有第二驱动腔和第二预真空腔,所述第一驱动腔与所述第一气路连接,所述第二驱动腔与所述第二气路连接; 所述第一活塞组件包括第一活塞头和第二活塞头,所述第一活塞头设于第一腔体内,所述第二活塞头设于第二腔体内,所述第一活塞头和第二活塞头通过连接件连接,以使所述第一活塞头和第二活塞头同步同向运动,所述第一活塞头将第一腔体分隔形成所述第一驱动腔和所述第一预真空腔,所述第二活塞头将第二腔体分隔形成所述第二驱动腔和所述第二预真空腔; 所述第一泵体内设有将第一腔体和第二腔体分隔开的隔板,所述第一活塞头与隔板之间形成所述第一驱动腔,所述第一活塞头与第一腔体远离隔板的一侧之间形成所述第一预真空腔,所述第二活塞头与隔板之间形成所述第二驱动腔,所述第二活塞头与第二腔体远离隔板的一侧之间形成所述第二预真空腔。
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