北京理工大学长三角研究院(嘉兴);北京理工大学高然获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学长三角研究院(嘉兴);北京理工大学申请的专利一种倾斜空芯光纤声探测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115931106B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211524269.0，技术领域涉及：G01H9/00；该发明授权一种倾斜空芯光纤声探测装置及方法是由高然;忻向军;吴哲宇;张晗设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种倾斜空芯光纤声探测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开的一种倾斜空芯光纤声探测装置及方法，属于光纤传感领域。倾斜空芯光纤声探测装置包括依次连接的振动膜、空芯光纤和双芯光纤。本发明采用振动膜作为光纤声波传感器的传感元件，提升强度型光纤声波传感器的灵敏度。本发明利用双芯光子晶体光纤分别作为出射纤芯和接收纤芯，简化光束传输光纤的复杂性；此外，采用纯硅芯多模光纤作为空腔的制备元件，使光子晶体光纤可与空腔在无任何连接器件的情况下无缝熔接；同时，采用气相沉积法直接进行镀膜的方法制备金属振动膜，增加传感器的统一性；本发明采用背向湿法腐蚀加工技术，利用TMAH溶液对于纯硅、石英以及金属锗的选择性腐蚀从光纤背向形成金属振动膜，实现金属材料悬空镀膜。
本发明授权一种倾斜空芯光纤声探测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种倾斜空芯光纤声探测装置的制作方法，其特征在于：包括如下步骤， 步骤一、根据TMAH溶液的选择腐蚀性在纯硅多模光纤端面上加工一个一短腔； 步骤二、利用熔接机将双芯光子晶体光纤与纯硅多模光纤进行偏移熔接； 步骤三、通过光纤端面研磨设备将纯硅多模光纤端面进行研磨形成倾斜端面，再利用气相沉积法在倾斜端面上镀上一层锗膜； 步骤四、利用飞秒激光器在光子晶体光纤上半部加工一个长方形的槽，再将TMAH溶液填充光子晶体光纤所有的空气孔；这样光子晶体光纤上半部的TMAH溶液从槽中流出外面，而光子晶体光纤下半部的TMAH溶液填充进纯硅多模光纤的短腔进行腐蚀；空气孔中的残留空气也会从槽另一侧的光子晶体光纤上半部流出；使悬空式倾斜式金属锗振动膜镀在空腔的表面； 步骤五、利用泵浦将TMAH溶液吸出，再用同样的方法将蒸馏水填充进空气孔和空腔进行清洗；然后将加工有槽的光子晶体光纤一侧切除。
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