南方科技大学李毅获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利一种谐振芯片及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115939718B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211538318.6，技术领域涉及：H01P7/10；该发明授权一种谐振芯片及其制作方法是由李毅;杨亚涛设计研发完成，并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种谐振芯片及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体领域，涉及一种谐振芯片及其制作方法。谐振芯片包括：介电层。介电层上设置有谐振通道；介电层包括谐振器与过渡介电层；谐振器形成在过渡介电层表面；谐振通道依次贯通谐振器与过渡介电层；谐振器用于与激发光形成共振响应，并使得电场能量局限在谐振通道内；过渡介电层用于隔离生物分子通过，使生物反应仅在谐振通道内反应。相对于金属包覆层，本申请使用介电层避免了电磁波的能量损耗以及光淬灭的问题。带有谐振通道放入谐振器，将电磁场束缚在谐振通道当中，实现对于谐振通道内单分子荧光过程的增强。使生物反应仅在谐振通道内反应，从而控制和提高反应物的捕获概率。
本发明授权一种谐振芯片及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种谐振芯片，其特征在于，包括： 介电层，所述介电层上设置有谐振通道，所述谐振通道贯通所述介电层； 所述介电层包括谐振器与过渡介电层； 所述谐振器形成在所述过渡介电层表面； 所述谐振通道依次贯通所述谐振器与所述过渡介电层；所述谐振器用于与激发光形成共振响应，并使得电场能量局限在所述谐振通道内；所述过渡介电层用于隔离生物分子通过，使生物反应仅在所述谐振通道内反应； 所述谐振芯片还包括： 衬底； 形成于所述衬底表面的导电层； 所述谐振芯片还包括： 形成于所述导电层表面的附着层；所述介电层形成于所述附着层的表面； 所述谐振芯片包括渗水孔；所述渗水孔贯通所述衬底和所述导电层，并与所述附着层接触。
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