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汨罗市福缘新材料有限公司杨九福获国家专利权

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龙图腾网获悉汨罗市福缘新材料有限公司申请的专利一种组合使用的石墨坩埚获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116026142B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211574323.2,技术领域涉及:F27B14/10;该发明授权一种组合使用的石墨坩埚是由杨九福设计研发完成,并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种组合使用的石墨坩埚在说明书摘要公布了:本发明公开了一种组合使用的石墨坩埚,其包括内坩埚体以及外坩埚体;内坩埚体的外壁上成型有壁槽,壁槽为呈螺旋线设置的盲槽,内坩埚体的外壁上包绕有抗拉单元,内坩埚体通过抗拉单元对内坩埚体的外壁施加周向束缚;外坩埚体略大于内坩埚体的外径,以使得内坩埚体在放入外容积腔后在外坩埚体内壁与内坩埚体外壁之间预留有5~8mm的容置间隙;外坩埚体的侧壁上成型有通孔作为泄压孔;外坩埚体在外容积腔的底面上成型有与内坩埚体底面相匹配的承载面,并在承载面外缘成型有与容置间隙下部相连的环槽,并在承载面上成型有横向贯穿的若干盲槽。本发明的石墨坩埚可有效提高石墨坩埚的质量,在半导体设备及制造领域具有广泛的应用前景。

本发明授权一种组合使用的石墨坩埚在权利要求书中公布了:1.一种组合使用的石墨坩埚,其特征在于,包括内坩埚体以及外坩埚体,内坩埚体与外坩埚体均为独立成型石墨坩埚体,使用时组合搭配使用; 所述内坩埚体为圆形坩埚,具有容置待加工物料的内容积腔,内坩埚体的外壁上成型有壁槽,所述壁槽为呈螺旋线设置的盲槽,内坩埚体的外壁上包绕有抗拉单元,以通过抗拉单元对内坩埚体的外壁施加周向束缚; 所述外坩埚体具有容置所述内坩埚体的外容积腔,所述外容积腔略大于内坩埚体的外径,以使得内坩埚体在放入外容积腔后在外坩埚体内壁与内坩埚体外壁之间预留有5~8mm的容置间隙;所述外坩埚体的侧壁上成型有通孔作为泄压孔;所述外坩埚体在外容积腔的底面上成型有与内坩埚体底面相匹配的承载面,并在所述承载面外缘成型有与所述容置间隙下部相连的环槽,并在所述承载面上成型有横向贯穿的若干盲槽。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人汨罗市福缘新材料有限公司,其通讯地址为:414000 湖南省岳阳市汨罗市新市镇合心村26组;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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