湖北兴福电子材料股份有限公司杜程获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北兴福电子材料股份有限公司申请的专利一种磷酸基蚀刻液及其配制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116179204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211696371.9，技术领域涉及：C09K13/06；该发明授权一种磷酸基蚀刻液及其配制方法是由杜程;贺兆波;叶瑞;姜飞;张庭;冯凯;王书萍;班昌胜;冯帆设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磷酸基蚀刻液及其配制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种磷酸基蚀刻液及其配制方法。一种磷酸基蚀刻液其主要成分包括占蚀刻液总重量50‑88%的磷酸、0.005‑2%的添加剂，余量为水。本发明通过使用新型添加剂的成分及类型。明显抑制了蚀刻液蚀刻过程Si2+与晶圆表面结合，抑制SiO2再生层生成，提高磷酸基蚀刻液使用寿命。
本发明授权一种磷酸基蚀刻液及其配制方法在权利要求书中公布了：1.一种磷酸基蚀刻液在3DNAND蚀刻工艺中的应用，其特征在于：所述的蚀刻液成分包括占蚀刻液总重量50-88%的磷酸、0.005-2%的添加剂，余量为水；磷酸为电子级磷酸，浓度≥85%，金属离子含量≤20ppb；添加剂为聚氧乙烯十二烷基胺，聚氧乙烯二胺，N-烷基二甲基氯化铵，N-烷基二甲基氧化铵，聚氧丙烯甲基氯化铵，聚氧丙烯嵌段基氯化铵或二烷基二甲基氯化铵中的一种或几种混合。
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