中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王上获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利电极笼电极正对面积测量装置及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115930846B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211697465.8,技术领域涉及:G01B11/28;该发明授权电极笼电极正对面积测量装置及测量方法是由王上;李华东;刘磊;王智;李祺设计研发完成,并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本电极笼电极正对面积测量装置及测量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及几何量计量测试技术领域,尤其涉及一种利用干涉仪分光测量的电极笼电极正对面积测量装置及测量方法;所述测量装置包括依次排列设置的干涉仪,起偏器,第一四分之一波片,偏振分光棱镜,第二四分之一波片以及反射镜;所述干涉仪的出射光依次经过所述起偏器和所述第一四分之一波片后,被所述偏振分光棱镜分成第一P偏振光和第一S偏振光;本发明利用了偏振分光棱镜分光,通过合理设计光路,从而在测量装置和电极笼不重复拆卸的情况下,实现电极笼内表面上两组电极的正对面积的原位高精度测量;此外,与常规的三坐标测量手段相比,该方法采用的是非接触测量,不会影响电极的表面质量。
本发明授权电极笼电极正对面积测量装置及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种电极笼电极正对面积测量方法,其特征在于,所述测量方法通过电极笼电极正对面积测量装置实现,所述电极笼的内表面包括两组电极,所述两组电极包括第一待测电极组和第二待测电极组; 电极笼电极正对面积测量装置包括依次排列设置的干涉仪,起偏器,第一四分之一波片,偏振分光棱镜,第二四分之一波片以及反射镜; 所述干涉仪的出射光依次经过所述起偏器和所述第一四分之一波片后,被所述偏振分光棱镜分成第一P偏振光和第一S偏振光;所述偏振分光棱镜与电极成45度设置; 所述测量方法包括步骤: S1、所述干涉仪的出射光依次经过所述起偏器和所述第一四分之一波片后,被所述偏振分光棱镜分成第一P偏振光和第一S偏振光; S2、所述第一S偏振光经过所述第一待测电极组和所述偏振分光棱镜的反射,回到所述干涉仪的出射光路; S3、所述第一P偏振光透射通过所述偏振分光棱镜后,经过所述第二四分之一波片,再被所述反射镜反射,所述第一P偏振光变为第二S偏振光; S4、所述第二S偏振光经过所述第二待测电极组和所述偏振分光棱镜的反射,回到所述反射镜的反射光路; 所述第二S偏振光在所述反射光路光中,两次经过所述第二四分之一波片后,变为第二P偏振光;所述第二P偏振光透射通过所述偏振分光棱镜,回到所述干涉仪的出射光路; S5、所述第一S偏振光与所述第二P偏振光汇聚,经过所述第一四分之一波片和所述起偏器后进行干涉,通过所述干涉仪观察反射回来的波前,通过计算干涉部分的像素数和非干涉部分的像素数,计算得到所述第一待测电极组与所述第二待测电极组的实际正对面积。
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