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龙图腾网获悉山东微波电真空技术有限公司申请的专利一种衰减器制备方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116083844B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310113681.1，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权一种衰减器制备方法及系统是由肖新来;张毅;张志强;高志强;高凯阅;陈书超;张彬;张欣玲设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种衰减器制备方法及系统在说明书摘要公布了：本发明属于空间行波管技术领域，具体提供了一种衰减器制备方法及系统，其衰减器制备方法包括利用真空镀膜机对夹持杆中待镀膜区域镀碳膜，以形成镀膜区域，镀膜区域中任意一点的实际厚度数值不低于预设数值；沿夹持杆轴向将镀膜区域分隔成多个子区域，测量每个子区域的电阻，根据子区域的电阻、夹持杆的尺寸、子区域的长度以及碳膜的电阻率计算得出每个子区域中碳膜的实际厚度数值；将每个子区域的实际厚度数值与预设数值进行比较，利用激光烧蚀的方式去除多余厚度的碳膜。

本发明授权一种衰减器制备方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种衰减器制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 步骤1，利用真空镀膜机对夹持杆中待镀膜区域镀碳膜，以形成镀膜区域，镀膜区域中任意一点的实际厚度数值不低于预设数值； 步骤2，沿夹持杆轴向将镀膜区域分隔成多个子区域，测量每个子区域的电阻，根据子区域的电阻、夹持杆的尺寸、子区域的长度以及碳膜的电阻率计算得出每个子区域中碳膜的实际厚度数值； 步骤3，将每个子区域的实际厚度数值与预设数值进行比较，利用激光烧蚀的方式去除多余厚度的碳膜； 通过控制激光烧蚀参数来控制碳膜被烧蚀去除的厚度，所述的激光烧蚀参数包括激光功率和烧蚀时间； 在步骤3之前，建立衰减器表层碳膜在采用激光烧蚀时的烧蚀厚度与激光烧蚀参数的数学模型； 所述的数学模型的建立方法为：以激光功率为定值，烧蚀时间参数为变量，通过试验获得多组被烧蚀前后的碳膜厚度数值；得出在单位激光功率下，表征烧蚀时间与烧蚀厚度对应关系的数学模型；以烧蚀时间参数为定值，激光功率为变量，通过试验获得多组被烧蚀前后的碳膜厚度数值；获得单位时间内，表征激光功率与烧蚀厚度对应关系的数学模型； 步骤2中计算得出的子区域中碳膜的实际厚度为平均厚度，利用该平均厚度表征子区域中碳膜的实际厚度；测量衰减器中试验区域碳膜的电阻值，通过电阻值及试验区域的长度、夹持杆尺寸及碳膜电阻率来获得碳膜在烧蚀前后的厚度。

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