中锗科技有限公司吕春富获国家专利权
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龙图腾网获悉中锗科技有限公司申请的专利一种磷化铟抛光药液及抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116333601B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310114774.6,技术领域涉及:C09G1/02;该发明授权一种磷化铟抛光药液及抛光方法是由吕春富;王卿伟;童三红;胡文青;宋志强设计研发完成,并于2023-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磷化铟抛光药液及抛光方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种磷化铟抛光药液及抛光方法,一种磷化铟抛光药液,包括配合使用的粗抛药液1和精抛药液2;粗抛药液1由三氯异氢尿酸、二氧化硅磨料A和高纯水组成,其中,三氯异氢尿酸、二氧化硅磨料A和高纯水的重量比为18‑36:80‑120:3000‑5000;精抛药液2由三氯异氰尿酸、有机酸、二氧化硅磨料B、高纯水和酸性活性剂苯磺酸钠,其中,有机酸为苹果酸、乳酸或柠檬酸中的至少一种,三氯异氰尿酸、有机酸、二氧化硅磨料B、高纯水和酸性活性剂的重量比为60‑120:60‑300:100‑300:20000‑50000:60‑150。本发明粗抛液成分简单,原料中有效成分用量少,去除效率高,有效提高了生产效率,降低了生产成本,提高了抛光质量,降低了对外企的依赖。
本发明授权一种磷化铟抛光药液及抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种磷化铟抛光药液,其特征在于:包括配合使用的粗抛药液1和精抛药液2; 粗抛药液1由三氯异氰尿酸、二氧化硅磨料A和高纯水组成,其中,三氯异氰尿酸、二氧化硅磨料A和高纯水的重量比为(18-36):(80-120):(3000-5000); 精抛药液2由三氯异氰尿酸、有机酸、二氧化硅磨料B、高纯水和酸性活性剂,其中,有机酸为苹果酸、乳酸或柠檬酸中的一种; 精抛药液2中,当有机酸为苹果酸时,三氯异氰尿酸、有机酸、二氧化硅磨料B、高纯水和酸性活性剂的重量比为(60-120):(100-300):(100-300):(20000-50000):(60-150); 当有机酸为乳酸时,三氯异氰尿酸、有机酸、二氧化硅磨料B、高纯水和酸性活性剂的重量比为(60-120):(80-240):(100-300):(20000-50000):(60-150); 当有机酸为柠檬酸时,三氯异氰尿酸、有机酸、二氧化硅磨料B、高纯水和酸性活性剂的重量比为(60-120):(60-180):(100-300):(20000-50000):(60-150)。
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