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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司申请的专利一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组及晶圆干燥系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116294540B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310198518.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组及晶圆干燥系统是由江峰;张静;孔昊;刘大威;陈新来设计研发完成，并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组及晶圆干燥系统在说明书摘要公布了：本发明涉及到一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组，其结构包括有：槽体排风口、主体排风口和起泡器排风口，所述槽体排风口、主体排风口和起泡器排风口分别设置在外壳上，外壳内设有气缸，所述气缸连接所述排风通断挡板，前置连接管道的一端连接外壳，另一端连接中置调气管道，在前置连接管道内设置有主回路调压挡板，中置调气管道的进气端连接前置连接管道，出气端连接排出管道，其上设有旋转气缸模组，所述旋转气缸模组连接设在中置调气管道内的总回路通断挡板，排出管道的出气端伸出于晶圆干燥系统外。本发明的集成化模组通过集成化的排气控制方式来改善基于马兰格尼干燥技术的干燥过程中的排气问题。

本发明授权一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组及晶圆干燥系统在权利要求书中公布了：1.一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组，所述晶圆干燥系统中设有主体、干燥槽体和异丙醇起泡器，其特征在于，所述多气体排放集成化模组设置在晶圆干燥系统中，其结构包括有： 槽体排风口，通过管路连接所述干燥槽体，其中设有排风通断挡板； 主体排风口，敞开设置在所述主体内，其中设有主体调压挡板； 起泡器排风口，通过管路连接所述异丙醇起泡器； 外壳，所述槽体排风口、主体排风口和起泡器排风口分别设置在外壳上，外壳内设有气缸，所述气缸连接所述排风通断挡板；在所述外壳内设有阻断气体的微型气缸模组，所述微型气缸模组包括有主体外壳、气缸、阻隔片、安装板、模组外壳和圆形支撑板，所述主体外壳通过安装板固定在外壳内壁上，在主体外壳内设有所述气缸，所述气缸为薄型气缸，由主体外壳与模组外壳形成完整外壳实现对薄型气缸的围合，所述薄型气缸的输出端伸出于模组外壳的外侧并连接所述圆形支撑板，所述圆形支撑板紧贴连接所述阻隔片，所述圆形支撑板和阻隔片形成用于可开合封堵所述槽体排风口的排风通断挡板； 前置连接管道，一端连接在所述外壳的出气口上，另一端连接中置调气管道，在前置连接管道内设置有主回路调压挡板； 中置调气管道，进气端连接所述前置连接管道，出气端连接排出管道，其上设有旋转气缸模组，所述旋转气缸模组连接设在中置调气管道内的总回路通断挡板； 排出管道，排出管道的出气端伸出于所述晶圆干燥系统外，并连接厂务端的排气输送管道。

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