山东微波电真空技术有限公司高闿阅获国家专利权
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龙图腾网获悉山东微波电真空技术有限公司申请的专利一种衰减器加工方法及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116288240B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310230607.8,技术领域涉及:C23C16/26;该发明授权一种衰减器加工方法及设备是由高闿阅;陈书超;肖新来;周金;张毅;董金伟;高志强;张彬设计研发完成,并于2023-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种衰减器加工方法及设备在说明书摘要公布了:本发明属于行波管加工技术领域,具体提供了一种衰减器加工方法及设备,包括外壳、供气组件、加热机构、夹持机构,外壳内部形成真空腔室;供气组件能够向真空腔室供给正庚烷气体;加热机构设于真空腔室中,加热机构能够向外辐射热量;夹持机构能够定位夹持杆,以使得夹持杆沿第一方向延伸并靠近加热面,进而使得夹持杆能够承接从加热机构辐射处的热量;加热机构具有楔形导热板,楔形导热板的外侧面形成加热面,楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化,以调节夹持杆任意位置与加热面的距离,进而调节夹持杆不同位置的温度。
本发明授权一种衰减器加工方法及设备在权利要求书中公布了:1.一种衰减器加工方法,利用了的衰减器加工设备,其特征在于,衰减器加工设备,包括: 外壳,其内形成真空腔室; 供气组件,其能够向真空腔室供给正庚烷气体; 加热机构,其设于真空腔室中,加热机构能够通过加热面向外辐射热量; 夹持机构,其能够定位夹持杆并驱动夹持杆自转,以使得夹持杆沿第一方向延伸并靠近加热面,进而使得夹持杆能够承接从加热面处辐射出的热量;加热机构具有楔形导热板,楔形导热板的外侧面形成加热面,楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化,以调节夹持杆任意位置与加热面的距离,进而调节夹持杆不同位置的温度;楔形导热板的加热面包括相拼接的直面和斜面,直面与第一方向平行;楔形导热板沿第一方向的一端与加热机构的本体转动连接,并能够相对于本体转动设定角度并固定,以调节所述斜面与所述第一方向的夹角; 加工方法包括以下步骤: 在夹持杆中不需要镀碳膜的位置包覆贴纸; 打开外壳,将夹持杆需要镀碳膜的区域靠近加热面;沿第一方向移动并定位夹持杆,使得需要镀碳膜的夹持杆区域与加热机构的辐射加热区域适配; 利用夹持机构固定夹持杆,关闭并密封外壳; 启动加热机构,向真空腔室供给正庚烷气体,夹持机构带动夹持杆转动; 加热机构经楔形导热面向被定位的夹持杆辐射热量,夹持杆沿长度方向设定位置的温度因距离加热面的数值不同而呈梯度变化; 夹持杆在不同位置的温度不同,进而在夹持杆设定区域处的正庚烷受热分解形成的碳膜厚度沿第一方向依次变化; 在调节碳膜渐变段的厚度变化梯度时,先利用楔形导热板的直面进行镀碳膜,夹持杆渐变段用贴纸包覆;然后将夹持杆均匀段包覆贴合,暴露碳膜渐变段区域,调节楔形导热板斜面与渐变段夹角,利用斜面辐射的热量镀碳膜。
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