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华中科技大学朱福龙获国家专利权

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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利结合超分重建的电子封装基板翘曲检测方法及测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117073558B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310881112.1,技术领域涉及:G01B11/16;该发明授权结合超分重建的电子封装基板翘曲检测方法及测量系统是由朱福龙;高宇涵;熊传国;雷鑫;吕葳杉设计研发完成,并于2023-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

结合超分重建的电子封装基板翘曲检测方法及测量系统在说明书摘要公布了:本发明属于微电子基板翘曲检测相关技术领域,并公开了一种结合超分重建的电子封装基板翘曲检测的方法及测量系统。该方法包括下列步骤:S1设定圆形散斑图案的散斑直径,将圆形散斑图案投影在试验样品表面,采集投影图案的多张图片,绘制灰度值和每个灰度值对应的比例P的二维图,根据该二维图拟合为双峰分布样式并获得比例P的函数,即先验函数;S2将试验样品替换为待测样品采集多张照片,利用先验函数,将采集的多张照片按照预设的放大倍数进行超分辨重建,以此获得高分辨率的图像;S3利用获得的高分辨率的图像计算待测样品表面的三维形貌,从而获得待测样品的翘曲变形信息。通过本发明,解决基板翘曲变形检测精度低的问题。

本发明授权结合超分重建的电子封装基板翘曲检测方法及测量系统在权利要求书中公布了:1.一种结合超分重建的电子封装基板翘曲检测的方法,其特征在于,该方法包括下列步骤: S1将圆形散斑图案投影在试验样品表面,采集所述试验样品表面投影图案的多张图片,统计所有图片中各个像素点的灰度值,以此获取每个灰度值对应的像素点数量占像素点总数的比例P,绘制灰度值和每个灰度值对应的所述比例P的二维图,根据该二维图拟合为双峰分布样式并获得所述比例P的函数,即先验函数; S2将步骤S1中的试验样品替换为待测样品,采集投影在待测样品表面的投影图案的多张照片并获得每张图片上所有像素点的灰度值,利用步骤S1中的先验函数,将采集的多张照片按照预设的放大倍数进行超分辨重建,以此获得高分辨率的图像; S3利用步骤S3获得的高分辨率的图像计算待测样品表面的三维形貌,从而获得待测样品的翘曲变形信息; 在步骤S2中,所述先验函数按照下列关系式进行: 其中,μ0和μ1分别是两个聚集峰处的灰度值,σ0和σ1分别是两峰的标准差,Hi,j是预测的重建高分辨率图像H中第i行第j列的像素值,c为归一化常数,PDIC[Hi,j]是先验分布函数; 在步骤S2中,所述重建采用最大后验概率算法,该后验概率函数按照下列关系式进行: 其中,Lk是重建前的低分辨率图像序列,H是高分辨率图像,PDIC[Hi,j]是先验分布函数,Hi,j是预测的重建高分辨率图像H中第i行第j列的像素值; 在步骤S1和S2中,采集试验样品和待测样品的照片均是从试验样品或待测样品的左右两侧分别采集的图像,在步骤S2中,重建高分辨率的图像时,是将左右两侧采集的图像分别重建,以此获得各自对应的高分辨率图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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