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龙图腾网恭喜芜湖映日科技股份有限公司申请的专利一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117088678B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310985963.0，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法是由王志强;曾墩风;曾探;陈光园设计研发完成，并于2023-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种稀土掺杂IZO靶材及其制备方法，该制备方法包括原料选择、一次球磨、二次球磨、喷雾造粒、压制成型和高温烧结等步骤。本发明使用多种稀土掺杂的工艺方式，同时优化了原料重量比、去离子水的使用量、固含量、粉末的粒径和密度，以及合理的高温烧结工艺，可获得具有高相对密度和小晶粒尺寸的大尺寸稀土掺杂IZO靶材。本发明提供的制备方法制备的大尺寸稀土掺杂IZO靶材适用于现代电子元器件的制备，具有广阔的应用前景。

本发明授权一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种稀土掺杂IZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： （1）原料选择：原料按照重量份数包括以下组分：氧化铟粉末90份、氧化锌粉末6-10份、氧化镨粉末0.01-2份、三氧化二锰粉末0.01-2份，其中，氧化铟粉末的BET为10-12m2g，氧化锌粉末的BET为30-40m2g，氧化镨粉末的BET2.5-4m2g，三氧化二锰粉末的BET为11-13m2g； （2）一次球磨：在装有φ1-2mm锆珠的球磨罐中加入去离子水和氧化锌粉末，搅拌时间为16-24h，得到氧化锌浆料； （3）二次球磨：在氧化锌浆料中加入去离子水，再将氧化铟粉末、氧化镨粉末、三氧化二锰粉末倒入一起球磨，球磨时间为24-48h，得到稀土掺杂IZO浆料； （4）喷雾造粒：将稀土掺杂IZO浆料进行干燥机造粒，设置进风温度200-230℃，出风温度80-110℃，得到稀土掺杂IZO粉末； （5）压制成型：将稀土掺杂IZO粉末装入模具中进行等静压成型，成型压力300-400Mpa，得到面积≥1800cm2，厚度≥0.6cm的稀土掺杂IZO素胚； （6）高温烧结：将稀土掺杂IZO素胚放入常压氧气气氛高温烧结炉中进行烧结，烧结温度1400-1450℃，得到稀土掺杂IZO靶材； 所述步骤（6）中烧结的具体步骤为： S1：0℃升到600℃，升温40-60h； S2：600℃保温5-10h； S3：600℃升到1200-1300℃，升温20-40h； S4：1200-1300℃保温10-20h； S5：1200-1300℃升到1400-1450℃，升温20-40h； S6：1400-1450℃保温20-30h； S7：1400-1450℃降到30℃，降温20-30h。

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