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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117517319B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311426287.X，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置及方法是由刘辰光;华子杰;刘俭设计研发完成，并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置及方法在说明书摘要公布了：一种基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置及方法，它涉及一种暗场共焦显微测量装置及方法。本发明为了解决传统暗场共焦显微测量的亚表面缺陷无损检测技术依赖复杂的光束整形机制，影响横向和轴向分辨率，并且降低显微系统的稳定性的问题。本发明所述装置包括双通道波形发生器、调制照明模块、光学扫描模块、失配解调模块和轴向位移台；样品放置在轴向位移台上，双通道波形发生器的一个通道与所述调制照明模块连接，所述调制照明模块发出的激光经过所述光学扫描模块照射在样品上，样品的回光由所述失配解调模块收集。本发明属于光学精密测量技术领域。

本发明授权基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置，其特征在于：所述基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置包括双通道波形发生器1、调制照明模块、光学扫描模块、失配解调模块和轴向位移台11；样品10放置在轴向位移台11上，双通道波形发生器1的一个通道与所述调制照明模块连接，所述调制照明模块发出的激光经过所述光学扫描模块照射在样品10上，样品10的回光由所述失配解调模块收集，所述调制照明模块包括LD激光器2、单模光纤3、光纤准直镜4和非偏振分束器5； 双通道波形发生器1的另一个通道输出频率为f+Δf的三角函数信号至锁相放大器15作为参考波形，PMT探测器14输出电信号接入锁相放大器15的输入通道，Δf设置为f10，调制频率为f； 所述光学扫描模块包括振镜6、扫描透镜7、管镜8和物镜9；振镜6、扫描透镜7、管镜8和物镜9依次设置，LD激光器2发射的激光依次经过单模光纤3、光纤准直镜4和非偏振分束器5后射入振镜6，再依次经过扫描透镜7、管镜8和物镜9后照射在样品10上； 所述失配解调模块包括聚焦透镜12、针孔13、PMT探测器14和锁相放大器15；样品10的回光由聚焦透镜12聚焦至针孔13，由PMT探测器14收集，PMT探测器14的输出电信号接入锁相放大器15的输入通道； 锁相放大器15解调频率为f+Δf，采集输出模拟信号，并与振镜6扫描同步重构暗场显微成像结果。

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