马鞍山欧大传感科技有限公司刘顺获国家专利权
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龙图腾网获悉马鞍山欧大传感科技有限公司申请的专利一种光电器件加工用金属蒸镀设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117488249B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311469280.6,技术领域涉及:C23C14/26;该发明授权一种光电器件加工用金属蒸镀设备是由刘顺设计研发完成,并于2023-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光电器件加工用金属蒸镀设备在说明书摘要公布了:本申请涉及蒸镀设备技术领域,公开了一种光电器件加工用金属蒸镀设备,包括蒸发源结构,所述蒸发源结构包括坩埚,坩埚的内侧壁有一部分设有加热板或加热丝,所述坩埚内设有隔板,所述隔板固定连接有固定构件,所述隔板通过弹性片连接有滑动板,所述滑动板的中部设有连接罩,所述滑动板连接有喷头,所述喷头穿过固定构件并与固定构件固定连接。利用隔板将坩埚内分割成多个小腔体,将液体分散,减少液体回流时撞击隔板的冲击力,喷头位于滑动板中心,其次,在膨胀时受力均匀,降低喷头方向偏移的风险,同时,由于的隔板位置相对固定,利用隔板为锚定位置,保证在膨胀或收缩时的中心位置不变,进而保证喷头位置不变。
本发明授权一种光电器件加工用金属蒸镀设备在权利要求书中公布了:1.一种光电器件加工用金属蒸镀设备,包括蒸发源结构,所述蒸发源结构包括坩埚(1)和隔离箱(11),隔离箱(11)由绝热材料制成,坩埚(1)的内侧壁有一部分设有加热板或加热丝,所述坩埚(1)内设有隔板(2),隔板(2)与坩埚(1)的底部之间留有间隙,其特征在于,所述隔板(2)固定连接有固定构件(10),固定构件(10)为隔离箱(11)的盖板,所述隔板(2)通过弹性片(3)连接有滑动板(4),滑动板(4)设于两个隔板(2)之间,所述滑动板(4)前后两侧设有翼缘(12),所述翼缘(12)与坩埚(1)的上端滑动连接,所述滑动板(4)和隔板(2)之间设有封堵压板(8),封堵压板(8)压紧滑动板(4)和坩埚(1)的边缘,所述滑动板(4)的中部设有连接罩(5),所述连接罩(5)连接有喷头(6),所述喷头(6)穿过固定构件(10)并与固定构件(10)固定连接,所述封堵压板(8)连接有压紧板(9),压紧板(9)压紧封堵压板(8),坩埚(1)、滑动板(4)、连接罩(5)均设有绝热层。
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