广东金仕伦清洗技术有限公司郑国绍获国家专利权
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龙图腾网获悉广东金仕伦清洗技术有限公司申请的专利一种晶圆盒清洗机的上料装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066145U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421505334.X，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆盒清洗机的上料装置是由郑国绍;梁小龙;曾志家设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒清洗机的上料装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及上料装置领域，尤其涉及一种晶圆盒清洗机的上料装置，包括底座，所述底座上滑动连接有上料台，所述底座内部安装有用于驱动上料台滑动的驱动装置，所述上料台的顶部设有若干个与晶圆盒底部定位槽相匹配的定位柱，所述上料台的顶部内壁对称固定有安装座，该晶圆盒清洗机的上料装置，通过定位柱与晶圆盒底部的定位槽相匹配，实现了晶圆盒在上料台上的精确定位。上料台对晶圆盒进行支撑；利用气缸和锁死板的组合，该装置能够快速、准确地固定晶圆盒。气缸驱动的锁死板能够灵活地嵌入晶圆盒底部的锁槽，提供了强有力的固定效果，确保了传输、清洗过程中的安全性和效率。
本实用新型一种晶圆盒清洗机的上料装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒清洗机的上料装置，其特征在于，包括底座1，所述底座1上滑动连接有上料台2，所述底座1内部安装有用于驱动上料台2滑动的驱动装置，所述上料台2的顶部设有若干个与晶圆盒底部定位槽相匹配的定位柱3，所述上料台2的顶部内壁对称固定有安装座4，所述安装座4上铰接有气缸5，所述上料台2的顶部内壁对称固定有连接座6，所述气缸5的活塞杆端部铰接有与晶圆盒底部锁槽相匹配的锁死板7，所述锁死板7的中部通过铰接轴8与锁死板7铰接，所述底座1上设有避让孔16，所述锁死板7设置在避让孔16内。
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