重庆欧宜腾智能装备有限公司杜建飞获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆欧宜腾智能装备有限公司申请的专利模块化磁控溅射真空镀膜机结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223061072U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421600156.9，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型模块化磁控溅射真空镀膜机结构是由杜建飞设计研发完成，并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本模块化磁控溅射真空镀膜机结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种模块化磁控溅射真空镀膜机结构，包括模块化机组，模块化机组包括若干接长连接的模块化真空镀膜单元；模块化真空镀膜单元包括真空腔壳体和镀膜机构，真空腔壳体呈矩形，真空腔壳体的两端面上分别开设有与内腔连通并用于待镀膜通过的通道孔，镀膜机构位于真空腔壳体内并连接于真空腔壳体的两侧面上，相邻模块化真空镀膜单元的真空腔壳体通过端面密封抵接且端面上的通道孔连通，相邻真空腔壳体之间设有用于保持端面密封抵接的可拆卸的紧固件；模块化机组一端密封抵接有放料仓单元；另一端头密封抵接有收料仓单元。本结构突破整体外壳的传统，使用了模块化的真空镀膜单元，减小真空腔壳体体积，有效降低制造、扩充产能的购置成本。
本实用新型模块化磁控溅射真空镀膜机结构在权利要求书中公布了：1.模块化磁控溅射真空镀膜机结构，其特征在于：包括模块化真空镀膜机组，所述模块化真空镀膜机组包括若干接长连接的模块化真空镀膜单元；所述模块化真空镀膜单元包括真空腔壳体、镀膜机构和抽真空机构，所述真空腔壳体呈矩形，真空腔壳体的两端面上分别开设有与内腔连通并用于待镀膜通过的通道孔，镀膜机构位于真空腔壳体内并连接于真空腔壳体的两侧面上，相邻模块化真空镀膜单元的真空腔壳体通过端面密封抵接且端面上的通道孔相对连通，相邻真空腔壳体之间设有用于保持端面密封抵接的可拆卸的紧固件， 位于所述若干接长连接的模块化真空镀膜单元一端头的真空腔壳体的端面密封抵接相连有放料仓单元； 位于所述若干接长连接的模块化真空镀膜单元另一端头的真空腔壳体的端面密封抵接相连有收料仓单元。
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