科睿迅(上海)材料科技有限公司方丙虎获国家专利权
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龙图腾网获悉科睿迅(上海)材料科技有限公司申请的专利用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066150U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421651179.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具是由方丙虎;王齐设计研发完成，并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具，包括由多根主框架以及连接框架构成的环形夹具本体，所述环形夹具本体内侧等间距环向设置有多个导向槽，所述导向槽包括呈夹角设置的两个框架板，分别为第一框架板和第二框架板，相邻所述导向槽的框架板之间通过连接板连接，所述导向槽和连接板一体成型且横截面为多边形。该用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具一体成型，开模成本低，也可与PVA海绵一体成型，对PVA海绵形成支撑作用，防止其发生形变，同时便于插入和脱出内杆，并且增加与内杆间的稳定性，防止旋转时发生空转。
本实用新型用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具在权利要求书中公布了：1.用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具，其特征在于，包括由多根主框架10以及连接框架构成的环形夹具本体，所述环形夹具本体内侧等间距环向设置有多个导向槽20，所述导向槽20包括呈夹角设置的两个框架板，分别为第一框架板21和第二框架板22，相邻所述导向槽20的框架板之间通过连接板30连接，所述导向槽20和连接板30一体成型且横截面为多边形。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科睿迅(上海)材料科技有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区泰业街150弄7号3层JT485室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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