苏州烯晶半导体科技有限公司刘畅获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州烯晶半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆转运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066134U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421659499.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆转运装置是由刘畅设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆转运装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及转运装置领域，尤其涉及一种晶圆转运装置。包括基台，所述基台上设置有安装部，所述安装部上设置有用于安装晶圆的托盘，对应安装部设置有牵引机构，所述牵引机构上设置有夹具，所述夹具在牵引机构的带动下夹持托盘内的晶圆；其中，所述牵引机构包括基台上开设的牵引槽，以及设置于牵引槽内的牵引件；所述牵引件在基台内部设置的驱动件的带动下沿牵引槽进行靠近或远离安装部的方向运动。本申请设置有用于储存晶圆的安装部，用于搭载晶圆的托盘，配合托盘用于夹持晶圆的夹具，夹具升降设置于牵引件上，并可在基台内部设置的驱动件的沿水平方向移动，便于对托盘内晶圆的夹持和转运。
本实用新型一种晶圆转运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转运装置，其特征在于，包括基台1，所述基台1上设置有安装部2，所述安装部2上设置有用于安装晶圆的托盘3，对应安装部2设置有牵引机构4，所述牵引机构4上设置有夹具5，所述夹具5在牵引机构4的带动下夹持托盘3内的晶圆； 其中，所述牵引机构4包括基台1上开设的牵引槽41，以及设置于牵引槽41内的牵引件42；所述牵引件42在基台1内部设置的驱动件的带动下沿牵引槽41进行靠近或远离安装部2的方向运动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州烯晶半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区兴浦路200号21#201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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