珠海市龙图光罩科技有限公司杨勤丰获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市龙图光罩科技有限公司申请的专利掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118961744B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410960697.0，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质是由杨勤丰;何俊龙;张锋;廖文超;张启顺设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质，本申请涉及半导体制造技术领域，所述掩模版检测方法包括：根据预设区域划分策略对掩模版进行检测区域划分，得到掩模版检测能量分布图；根据掩模版检测能量分布图确定检测设备的检测模式，并根据检测模式对掩模版进行检测。本申请能够提高掩模版检测的准确性和效率。
本发明授权掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种掩模版检测方法，其特征在于，所述掩模版检测方法包括： 根据预设区域划分策略对掩模版进行检测区域划分，得到掩模版检测能量分布图，具体包括： 对所述掩模版进行灰度值检测，得到掩模版灰度值； 根据所述掩模版灰度值和预设的灰度阈值对所述掩模版进行检测区域划分，得到多个检测能量区域； 根据所述多个检测能量区域，得到所述掩模版检测能量分布图； 所述检测能量区域包括标准区、低能区和高能区，所述根据所述掩模版灰度值和预设的灰度阈值对所述掩模版进行检测区域划分的步骤，包括： 判断所述掩模版灰度值与所述灰度阈值的数值大小关系； 若所述掩模版灰度值与所述灰度阈值相等，则将所述掩模版灰度值对应的区域划分为标准区； 若所述掩模版灰度值与所述灰度阈值不相等，则判断所述掩模版灰度值是否属于所述灰度阈值和灰度误差范围构成的数值范围内； 若所述掩模版灰度值属于所述灰度阈值和所述灰度误差范围构成的数值范围内，则将所述掩模版灰度值对应的区域划分为低能区； 若所述掩模版灰度值不属于所述灰度阈值和所述灰度误差范围构成的数值范围内，则将所述掩模版灰度值对应的区域划分为高能区； 根据所述掩模版检测能量分布图确定检测设备的检测模式，并根据所述检测模式对掩模版进行检测。
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