吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司柏亚骋获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种供液系统和半导体清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066123U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421719700.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种供液系统和半导体清洗系统是由柏亚骋;祁志明;李松松;孙永胜设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种供液系统和半导体清洗系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种供液系统和半导体清洗系统，其中，供液系统包括：回收装置，包括第一动力机构和废液收集机构；第一动力机构的一端和废液收集机构连接，另一端和指定设备的出液口连接，配置为从指定设备中回收废液至废液收集机构；主控制器，配置为获取经回收的废液的回收量，并根据废液的回收量确定新液的补给量；供液装置，包括第二动力机构和液体储存机构；第二动力机构的一端和液体储存机构连接，另一端和指定设备的入液口连接，配置为根据新液的补给量从液体储存机构中抽取新液至指定设备。在供液过程中，通过主控制器、回收装置和供液装置的配合运作，实现了供液精度的提高；系统的高效协同工作，提高了废液回收和新液补给的效率。
本实用新型一种供液系统和半导体清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种供液系统，其特征在于，包括： 回收装置，包括第一动力机构和废液收集机构；所述第一动力机构的一端和所述废液收集机构连接，另一端和指定设备的出液口连接，配置为从所述指定设备中回收废液至废液收集机构； 主控制器，配置为获取经回收的废液的回收量，并根据所述废液的回收量确定新液的补给量；其中，所述废液的回收量和所述新液的补给量的差值符合预设区间； 供液装置，包括第二动力机构和液体储存机构；所述第二动力机构的一端和所述液体储存机构连接，另一端和所述指定设备的入液口连接，配置为根据所述新液的补给量从所述液体储存机构中抽取新液至所述指定设备。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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