无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司陶钰菲获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118664652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410976922.X，技术领域涉及：B25J19/00；该发明授权机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质是由陶钰菲;孙文彬设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质，涉及机械臂技术领域。该方法包括：在当前机械臂对晶圆进行搬运时，获取当前机械臂的当前单次伸缩偏移量和第一预设单次伸缩偏移量；对当前单次伸缩偏移量和第一预设单次伸缩偏移量进行比较；在当前单次伸缩偏移量小于第一预设单次伸缩偏移量时，确定当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂稳定；在当前单次伸缩偏移量大于等于第一预设单次伸缩偏移量时，确定当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂不稳定。本发明实施例的技术方案实现了对机械臂的稳定性检测，从而保证了利用晶圆所生产的半导体产品的质量。
本发明授权机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种机械臂测试方法，其特征在于，所述方法包括： 在当前机械臂对晶圆进行搬运时，获取所述当前机械臂的当前单次伸缩偏移量和第一预设单次伸缩偏移量； 对所述当前单次伸缩偏移量和所述第一预设单次伸缩偏移量进行比较； 在所述当前单次伸缩偏移量小于第一预设单次伸缩偏移量时，确定所述当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂稳定； 在所述当前单次伸缩偏移量大于等于第一预设单次伸缩偏移量时，确定所述当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂不稳定； 获取第二预设单次伸缩偏移量；其中，所述第一预设单次伸缩偏移量小于所述第二预设单次伸缩偏移量； 对所述当前单次伸缩偏移量和所述第二预设单次伸缩偏移量进行比较； 在所述当前单次伸缩偏移量小于第二预设单次伸缩偏移量时，确定所述当前机械臂的当前稳定程度为第一稳定程度； 在所述当前单次伸缩偏移量大于等于第二预设单次伸缩偏移量时，确定所述当前机械臂的当前稳定程度为第二稳定程度。
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