芯恩(青岛)集成电路有限公司杨伟霞获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223066151U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421762361.5，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型半导体工艺设备是由杨伟霞;李皇欣;许杰设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体工艺设备。其中，所述半导体工艺设备采用具有曲面的支撑凸起来承载晶圆。相较于平面式的支撑结构，曲面支撑能够在晶圆震动情况下限制所述晶圆的位移量，并确保所述晶圆在停止震动时，其边缘可以经所述曲面自动滑落至目标承载位置，有效避免所述晶圆因震动而偏离承载位置的情况，实现对晶圆承载位置的限定，利于提高机械手臂的取片成功率，进而减少工艺成本的浪费。
本实用新型半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括反应腔室和机械手臂； 所述反应腔室内设置有承载台；所述承载台的顶表面具有多个支撑凸起，所述多个支撑凸起沿所述顶表面的边缘间隔分布，以承载晶圆；其中，所述支撑凸起朝向所述顶表面中心区域的一侧呈曲面，以使所述晶圆的边缘经所述曲面滑落至目标承载位置； 所述机械手臂设置于所述反应腔室的一侧，且所述机械手臂具有一抓手，所述抓手能够伸入和伸出所述反应腔室，以取放所述晶圆；以及， 所述抓手具有连接臂和至少两个弧形臂；所述至少两个弧形臂的一端与所述连接臂相接，且沿所述连接臂的延伸方向上，所述至少两个弧形臂并列设置；其中，所述弧形臂的外弦长大于所述晶圆的直径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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