买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏斯塔科技有限公司申请的专利一种晶圆测试装置及测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118858894B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410997759.5，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种晶圆测试装置及测试方法是由张富强设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆测试装置及测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆测试装置及测试方法，属于晶圆测试技术领域。一种晶圆测试装置，包括支架，还包括：底部开口的外罩，固定连接在所述支架上，其中，所述外罩的内顶部固定安装有升降设备，所述升降设备的伸缩端固定安装有柱形内罩，所述内罩的开口朝下设置；圆周分布在所述内罩内的多个检测板，其中，所述检测板上安装有探针，其中一个所述检测板的探针朝下设置，所述内罩上设有驱动多个探针围绕内罩轴线公转的调节部，当所述内罩向上移动至极限位置时；本发明可以自动更换探针与检测板，防止同一组检测板与探针重复使用而出现明显发热与磨损，一方面可以提升检测板与探针的使用寿命，另一方面又能提升测试精度。

本发明授权一种晶圆测试装置及测试方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试装置，包括支架1，其特征在于，还包括： 底部开口的外罩2，固定连接在所述支架1上， 其中，所述外罩2的内顶部固定安装有升降设备12，所述升降设备12的伸缩端固定安装有柱形内罩3，所述内罩3的开口朝下设置； 圆周分布在所述内罩3内的多个检测板5， 其中，所述检测板5上安装有探针6，其中一个所述检测板5的探针6朝下设置，所述内罩3上设有驱动多个探针6围绕内罩3轴线公转的调节部，当所述内罩3向上移动至极限位置时，多个所述检测板5同步围绕内罩3的轴线转动固定角度； 所述调节部包括转动连接在内罩3内壁的转轴7，所述转轴7上固定安装有转盘4，多个所述检测板5安装在转盘4的圆周外壁上， 其中，所述转轴7的一端固定安装有蜗轮8，所述内罩3的外壁转动安装有与蜗轮8啮合连接的蜗杆9，所述外罩2的内壁设有驱动蜗杆9转动的联动部； 所述联动部包括固定安装在外罩2内壁的齿条11，所述蜗杆9的轴端通过单向轴承安装有从动齿轮10，当所述内罩3向上移动至极限位置时，所述从动齿轮10与齿条11啮合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏斯塔科技有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省南京市秦淮区普天路1号5幢A1号楼4层425-1室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。