深圳市汇芯通信技术有限公司占鹏华获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市汇芯通信技术有限公司申请的专利一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118969589B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411020944.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置及方法是由占鹏华;樊永辉;许明伟;樊晓兵设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置及方法，该装置包括：载台，包括圆周面和上表面，所述载台上表面设有细微小孔，所述载台内部为中空的；冷却循环系统，设置在载台内部，用于向载台输送冷却液；气体热传导管，设置在载台内部，用于载台与载片盘间的温度传导；抽气管，设置在所述载台的正下方，连接在ICP腔体上，所述抽气管的抽气口位于ICP腔体壁上，所述抽气口所在的平面为抽气口面；顶针，穿过所述载台且外露于所述载台上表面，用于托起载片盘；顶针气缸，位于所述载台的下方与所述抽气口面的上方，用于驱动顶针做升降运动。本发明通过将抽气口设置在载台正下方，从而缩短出气口与抽气口的距离，提高了刻蚀效率。
本发明授权一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置，其特征在于，包括： 载台，包括圆周面和上表面，所述载台上表面设有细微小孔，所述载台内部为中空的； 冷却循环系统，设置在载台内部，用于向载台输送冷却液； 气体热传导管，设置在载台内部，用于载台与载片盘间的温度传导； 抽气管，设置在所述载台的正下方，连接在ICP腔体上，所述抽气管的抽气口位于ICP腔体壁上，所述抽气口所在的平面为抽气口面； 顶针，穿过所述载台且外露于所述载台上表面，用于托起载片盘； 顶针气缸，位于所述载台的下方与所述抽气口面的上方，用于驱动顶针做升降运动； 陶瓷隔网，安装在所述载台圆周面的外围，用于吸附工艺废物。
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